產(chǎn)品介紹:
硅料磷、硼雜質含量測試儀，其主要用途是對多晶硅料的包括磷硼含量在內的超過75個元素進行分析。

產(chǎn)品特點:
■ 干擾少，精密讀高，可以測量至 ppb 甚至 ppt 級的微量元素 
■ 測試范圍廣，可以測量超過 75 個以上的元素 
■ 分析速度快，每個樣品的所有元素 2-6 分鐘 
■ 可同時分析多種元素 , 尤其適合分析用其它方法難以測定的元素 
■ 超高靈敏度的元素分析儀器 
■ 能進行無人控制操作 
■ 具有痕量檢測能力 
■ 極低的儀器背景至 0.5-0.05cps 
■ 體積小巧、功能全面 
■ 可迅速獲取同位信息，進行半定量分析 
■ 的全譜同時測量能力和強大的抗力 
■ 分辨率與靈敏度的配置，優(yōu)異的穩(wěn)定性以及的同位素豐度比值測量精密度 
■ 動態(tài)線性范圍達到 7 個數(shù)量級以上 
■ 每一個樣品中需要測量的元素數(shù)量多少均不影響樣品分析的整體速度 
 
技術指標:
■ 檢出限： ppt 級
■ 樣品分析能力：多元素分析，可以測量超過 75 個以上的元素，每個樣品的所有元素 2-6 分鐘
■ 測試范圍：可測包括 B 、 P 等在內的超過 75 個元素
■ 線性動態(tài)范圍： 10的8次方 


推薦工作條件:
■ 室內環(huán)境溫度15～30℃；相對濕度（全天候）不超過60%
■ 室內無強磁場干擾；無妨礙儀器正常工作的震動
■ 室內環(huán)境清潔、干燥、沒有灰塵、無腐蝕性氣體
■ 硅料磷硼含量測試儀是精密儀器 ，為防止酸、堿及其它腐蝕性氣體、煙霧侵蝕儀器，必須和化學實驗室分開；儀器光學系統(tǒng)對濕度、溫度要求很高，實驗室應安裝空調及去濕設備


典型用戶:
南玻集團、洛陽中硅、新光硅業(yè)等