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4D 菲索型相移干涉儀 AccuFiz D 動態(tài)相移型

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產品型號AccuFiz D

品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2023-07-06 14:44:28瀏覽次數(shù):336次

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產品簡介

產品介紹AccuFizD型是一種基于偏振光干涉原理的共光路菲索型動態(tài)干涉儀,采用短相干光源,相干長度約200微米;這使它既保持了菲索型的通常特點,又保持了動態(tài)干涉儀的特性,抗振動,對氣流擾動不敏感,并可用于一些特殊的測量需求,特別適合平行平板測量、材料均勻性測量、大口徑凸球面的直接測量等

詳細介紹

產品介紹



AccuFiz D型是一種基于偏振光干涉原理的共光路菲索型動態(tài)干涉儀,采用短相干光源,相干長度約200微米;這使它既保持了菲索型的通常特點,又保持了動態(tài)干涉儀的特性,抗振動,對氣流擾動不敏感,并可用于一些特殊的測量需求,特別適合平行平板測量、材料均勻性測量、大口徑凸球面的直接測量等。


典型應用



1. 遠程空腔測量。 只要保證透射參考面(TF或TS)距樣品個反射面的光程小于2m, 即可進行測量;而無需擔心TF或TS離干涉儀本身的距離引起的振動與氣流問題。最典型的應用,是大口徑凸球面或凸非球面的測量,例如JSWT次鏡的測量。

2. 平行平板的測量,可以直接測量厚度大于200µm的平行平板,不產生干擾條紋

3.均勻性的測量,可實現(xiàn)定位干涉,只需保證樣品平行度足夠好,就可以直接測量,對樣品面形精度沒有特殊要求。

4.平面元件應力雙折射的測量

5.平面元件的等厚差的測量

6.作為主機,進行動態(tài)大口徑干涉儀自研



常規(guī)屬性


采集模式:采用相位相關探測器瞬時相移式

出光口徑:100mm,150mm,或其它定制尺寸

工作波段:636nm,相干長度200µm

相機像素:2K x 2K pexels,12bit

腔長:0-500 mm或0-2 m

外形尺寸:干涉儀: x x cm

光源: x x cm

干涉儀重量:


系統(tǒng)性能



樣品反射率:1-99%(需衰減)

RMS重復性: ()*

RMS精度:()



*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結果;每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均

采用10個數(shù)據(jù),每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均;以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值;以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結果


配置選項



- 可選150mm 輸出口徑

- 可選4"TF 與RF平面標準鏡

- 可選4"TS (1/20 wv PVr) : F/, F/, F/1, F/, F/, F/, F/, F/

- 可選6"TS (1/20 wv PVr): F/, F/, F/, F/, F/, F/,

- 可選4"或6"樣品5維調整架

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