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皮米精度位移激光干涉儀

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更新時(shí)間:2024-02-14 16:19:27瀏覽次數(shù):310次

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產(chǎn)品簡介

皮米精度位移激光(可試用)昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進(jìn)行量測的理想儀器,基于其的測量原理,相對距離的重復(fù)精度達(dá)到了的50皮米

詳細(xì)介紹

皮米精度位移激光(可試用)



       



        昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進(jìn)行量測的理想儀器,基于其的測量原理,相對距離的重復(fù)精度達(dá)到了的50皮米。quDIS可同時(shí)支持三個(gè)測量通道,使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準(zhǔn)參考,通過激光波長調(diào)諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實(shí)現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的距離測量,基于這種測量方式,使得quDIS相對其他產(chǎn)品測量距離可以達(dá)到5M的同時(shí)保持高精度,且與信號對比度和強(qiáng)度無關(guān),由于使用整個(gè)干涉模式來提取位移信息,因此不存在非線性誤差此外,quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實(shí)時(shí)信號中提取得到。





                        的法珀腔+飽和吸收氣室構(gòu)造                               波長的線性變化的引入在此構(gòu)造下使得距離的測量成為可能!







干涉?zhèn)鞲蓄^

       激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實(shí)現(xiàn)的,根據(jù)反射目標(biāo)的不同,不同的應(yīng)用都需要不同的準(zhǔn)直、聚焦和光束剖面約束。quDIS的傳感器頭均基于設(shè)計(jì)。quDIS為常規(guī)情況下的使用提供標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直儀和定焦傳感頭,同時(shí)根據(jù)具體的需要以及惡劣環(huán)境下的應(yīng)用,也設(shè)計(jì)了響應(yīng)的特殊傳感頭。



   

                       用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設(shè)計(jì)                                         鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數(shù)準(zhǔn)直頭


環(huán)境測試模塊(AMU)

      環(huán)境測試模塊(AMU)設(shè)計(jì)用于補(bǔ)償由溫度T、壓力p和相對濕度rH波動引起的折射率變化,總體精度為1ppm。

產(chǎn)品特點(diǎn):

  •  多維度多通道位移干涉器,操作簡單,即插即用

  •  相對距離和距離測量

  •  完善的全套系統(tǒng)配置

  •  實(shí)時(shí)輸出數(shù)字化圖像

  •  針對不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案

  •  長期使用保證穩(wěn)定性

  •  兼容真空與各種惡劣環(huán)境





優(yōu)勢:

  •  距離高精度測量!

  •  不存在非線性及周期性誤差!

  •  相對距離信號穩(wěn)定性<>

  •  工作距離大至5m(與傳感頭相關(guān))

  •  目標(biāo)速度<3m/s

  •  三個(gè)傳感接口,可實(shí)現(xiàn)多設(shè)備同步

  •  探測器分辨率達(dá)到1pm





應(yīng)用領(lǐng)域:

  •   極限環(huán)境下振動分析

  •   緩慢漂移及熱膨脹檢測

  •   精密設(shè)備位置控制

  •   納米級位移測量

  •   層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測量

  •   位移和振動精度評估






皮米精度位置測量儀參數(shù)列表:


干涉儀傳感
光源DFB激光器分辨率1pm
功率<>相對距離穩(wěn)定性<>
波長1535nm相對對距離精度<0.2nm>
線寬<>帶寬25kHz
傳感器通道3工作距離20-5000mm
光纖輸入端口FC Narrow-Key-Slot目標(biāo)速度<3m>
Mating Sleeves傳感頭真空
同步多臺設(shè)備同步


















關(guān)鍵詞:激光干涉儀 傳感器

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