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G30HD激光干涉儀

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更新時(shí)間：2023-02-07 08:53:45瀏覽次數(shù)：455次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

30mm高分辨率激光干涉儀（型號(hào)G30HD）為多攝像孔檢測(cè)而定制，具備大視場(chǎng)、高分辨率的性能?？梢酝瑫r(shí)完成雙孔、三孔或四孔的透過(guò)波前檢測(cè)

詳細(xì)介紹

一、儀器規(guī)格參數(shù)

30mm高分辨率激光干涉儀（型號(hào)G30HD）為多攝像孔檢測(cè)而定制，具備大視場(chǎng)、高分辨率的性能?？梢酝瑫r(shí)完成雙孔、三孔或四孔的透過(guò)波前檢測(cè)。

儀器規(guī)格參數(shù)表

硬件部分：

產(chǎn)品型號(hào)	G30HD
產(chǎn)品名稱	30mm高分辨率激光干涉儀
測(cè)試口徑	30mm*25mm
標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度	λ/20
光源	進(jìn)口He-Ne激光器（632.8nm)
可同步測(cè)量孔數(shù)	4孔
電源	AC220V50HZ
標(biāo)配配件	氣浮減震平臺(tái)

軟件部分：

軟件名稱	移相算法（簡(jiǎn)稱PH）
分析項(xiàng)目	透過(guò)波前PV值、power值、平行度Tilt值、ttv值、條紋數(shù)等
測(cè)試重復(fù)性	PV：0.01λ RMS:0.003λ
測(cè)試允許誤差	PV<1λ時(shí) PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場(chǎng)調(diào)整為1根條紋） 1λ<PV<2λ時(shí) PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場(chǎng)調(diào)整為1根條紋）
測(cè)試時(shí)間	1.5秒

二、儀器特點(diǎn)

1、可同步測(cè)量四攝像孔

雙攝、三攝甚至四攝逐漸成為手機(jī)攝像的標(biāo)配，傳統(tǒng)的小視場(chǎng)干涉儀每次只能測(cè)量一個(gè)攝像孔，效率低下；而大視場(chǎng)干涉儀雖然可以顯示多個(gè)攝像孔，但分辨率不足，不能勝任大像差攝像孔的測(cè)量。

G30HD便針對(duì)該特殊需求而設(shè)計(jì)，可以同時(shí)滿足最多四攝像孔的同步測(cè)量。

儀器可同步測(cè)量四攝像孔的PV、power、條紋數(shù)等數(shù)值，并同步給出OK/NG的總體評(píng)價(jià)：

2、可滿足大像差攝像孔的測(cè)量

在具備大視場(chǎng)的同時(shí)，儀器具備足夠高的分辨率。下表為G30HD與G10可準(zhǔn)確測(cè)量的像差對(duì)比：

		G30HD	G10U-PH
3mm口徑（前置攝像孔典型值）	條紋數(shù)	30fr	20fr
3mm口徑（前置攝像孔典型值）	PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值）	1.5λ	1λ
6mm口徑(后置攝像孔典型值)	條紋數(shù)	60fr	40fr
6mm口徑(后置攝像孔典型值)	PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值）	3λ	2λ

注：PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值）為背景調(diào)整為零條紋時(shí)，直接測(cè)量所得的PV值。

G30HD足夠勝任后置攝像孔與2.5D前置攝像孔的測(cè)量。

3、光源為進(jìn)口He-Ne激光器（波長(zhǎng)632.8nm）

He-Ne激光器相比半導(dǎo)體激光相比有如下優(yōu)點(diǎn)：相干性穩(wěn)定、優(yōu)良，干涉圖的對(duì)比度及清晰度更高，且壽命很長(zhǎng)（一般可達(dá)到2萬(wàn)小時(shí)以上）。半導(dǎo)體激光器隨溫度變化產(chǎn)生的溫飄會(huì)使干涉條紋的對(duì)比度、清晰度周期性變差，對(duì)數(shù)字化測(cè)量有很大影響；且壽命較短，易被靜電損傷。

4、標(biāo)配氣浮減震平臺(tái)

儀器標(biāo)配氣浮減震平臺(tái)，即使在環(huán)境惡劣的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)亦可以保證穩(wěn)定、可靠的測(cè)試。