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4D泰曼格林動(dòng)態(tài)干涉儀 PhaseCam 6110高分辨型

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產(chǎn)品型號(hào)PhaseCam 6110

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2023-07-06 14:27:53瀏覽次數(shù):286次

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產(chǎn)品簡介

簡介PhaseCam6110是PhaseCam6000系列干涉儀的另一個(gè)型號(hào),有助于提高大口徑光學(xué)元件面形測量的分辨率,適合數(shù)字加工以及高分辨系統(tǒng)的裝調(diào)

詳細(xì)介紹

簡介



PhaseCam6110是PhaseCam6000系列干涉儀的另一個(gè)型號(hào),有助于提高大口徑光學(xué)元件面形測量的分辨率,適合數(shù)字加工以及高分辨系統(tǒng)的裝調(diào)。

PhaseCam6110 ,采用光源與干涉儀分離的設(shè)計(jì),主機(jī)尺寸較小,同樣配有專用調(diào)整架,易于安裝定位,便于五維調(diào)整,是凹面望遠(yuǎn)鏡、透鏡、離軸三反系統(tǒng)、卡式望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)、長焦距平行光管、低溫光學(xué)真空實(shí)驗(yàn)等測量的理想儀器。

基于PhaseCam6110,衍生出了多種波長的干涉儀,目前可提供的波長為但不限于1053nm, 1064nm, 1300nm, 1550nm.

PhaseCam6110的尺寸比PhaseCam6010稍大,具有更好的維護(hù)性。


常規(guī)屬性



系統(tǒng)描述:對(duì)振動(dòng)不敏感的泰曼格林型動(dòng)態(tài)相移干涉儀

采集模式:采用相位相關(guān)探測器的瞬時(shí)相移式

核心技術(shù):相移干涉技術(shù)(PSI)

光源:穩(wěn)頻HeNe@;可選波長 532nm

相干長度 gt;100m

光束直徑:7mm

偏振態(tài):圓偏光

相機(jī)像素:2000×2000pixels, 12bit

外形尺寸:測量頭:
激光器: x x cm

重量: 測量頭:
激光器:


系統(tǒng)性能



采集速率 gt;10幀/秒 (實(shí)時(shí)顯示)

>15幀/秒 (后處理)

最小曝光時(shí)間:35微秒

樣品反射率:1-99% (無需衰減)

RMS重復(fù)性:
RMS精度:


*采用10個(gè)數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果;每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測試的平均

采用10個(gè)數(shù)據(jù),每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測試的平均;以這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值作為參考值;以每一個(gè)數(shù)據(jù)與參考值的差來計(jì)算RMS平均作為結(jié)果


配置選項(xiàng)



擴(kuò)束器:Φ50mm, Φ100mm,Φ300mm

球面擴(kuò)束鏡頭:F/1 to F/32;可定制 F/35, F/40, F/50

反射參考鏡: , , ,

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