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更新時(shí)間:2022-11-27 17:38:47瀏覽次數(shù):261次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線RIE-24000反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(帶Load_Lock裝置)采用PLC控制,觸摸顯示屏操作
RIE-24000反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(帶Load_Lock裝置) 采用PLC控制,觸摸顯示屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動(dòng)化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)和生產(chǎn)平臺(tái)。
型號(hào) | RIE-24000 |
真空系統(tǒng) | 進(jìn)樣室:機(jī)械泵系統(tǒng);刻蝕室:分子泵機(jī)組 |
樣品尺寸 | 500×400mm |
刻蝕材料 | SiO2、Si3N4等 |
刻蝕不均勻性 | ≤ ±5% |
自動(dòng)化程度 | 真空系統(tǒng)、機(jī)械手送/取樣片、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過(guò)程全自動(dòng)控制。 |
人機(jī)界面 | Windows環(huán)境、觸摸屏操作 |
操作方式 | 全自動(dòng)方式、非全自動(dòng)方式 |
配套件選配 | 可選擇進(jìn)口件或國(guó)產(chǎn)件 |
送/取樣片方式 | 機(jī)械手自動(dòng)送/取片 |
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