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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市東信高科自動化設(shè)備有限公司


晶圓刻蝕機

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產(chǎn)品型號TS-PL15MA

品       牌

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更新時間:2022-11-26 18:17:18瀏覽次數(shù):214次

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聯(lián)系人:李經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹 TS-PL15MA/P晶圓刻蝕機高配版1.真空腔規(guī)格:材質(zhì)316不銹鋼L270mm*W280mm*H200mm2.電極:平板氣浴電極

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

TS-PL15MA/P 晶圓刻蝕機高配版

1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產(chǎn)品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續(xù)可調(diào),可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制:MFC質(zhì)量流量計, 0-500ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC)
8. 控制方式:7寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸:長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置

TS-PL15MA 晶圓刻蝕機標準版
1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(可處理產(chǎn)品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續(xù)可調(diào),可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制:精密針閥式浮子流量計, 0-1000ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC)
8. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸:長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置

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