ZYGO新型Verifire HDX激光干涉儀是為超高精度的光學(xué)元件和系統(tǒng)設(shè)計和制造的，可以獲得元件表面的中頻特征信息。系統(tǒng)包含現(xiàn)有Verifire HD的所有功能-比如QPSI和長壽命穩(wěn)頻的激光器，并增加了重要的增強功能，如刷新行業(yè)水平的分辨率和成像能力，儀器傳遞函數(shù)（ITF）、出眾的中頻特征分析和大坡度表面測試，同時也兼具了ZYGO DynaPhase®系列動態(tài)采集技術(shù)，可以去除震動引起的問題并且能夠在近乎任何環(huán)境中精準(zhǔn)計量。

特殊設(shè)計優(yōu)化的分辨率和性能

Verifire HDX激光干涉儀系統(tǒng)具有全新的光學(xué)設(shè)計，經(jīng)過嚴(yán)格設(shè)計，可為其所配的3.4kx 3.4k（1160萬像素）傳感器提供突破像素限制的性能，呈現(xiàn)增強的圖像，可以顯示出較低分辨率干涉儀難以辨識的表面特征。這種超高的空間分辨率不會以犧牲速度為代價，該系統(tǒng)在全分辨率下以幀率96 Hz運行，比其它高分辨率干涉儀速度快10倍，那些由于采樣速度較慢在采樣的時候會引入震動誤差從而測試能力受限。

功率譜密度（PSD）和衍射分析工具完善了Verifire HDX激光干涉儀系統(tǒng)的中頻特征分析能力，并通過簡單直觀的用戶界面來分析和報告綜合表面特性。

光學(xué)面形測試下的中頻特征分析

高質(zhì)量的參考光學(xué)元件和配件

UltraFlat™和UltraSphere™超高精度透射平面和球面，面形可以達(dá)到λ/40 PVr或更高，并且嚴(yán)格控制PSD特征進(jìn)行制造，以化中頻特征。推薦將這些高精度參考光學(xué)元件與Verifire HDX激光干涉儀一起配合使用，以完整實現(xiàn)和提升系統(tǒng)的性能。無論它們是被用于垂直構(gòu)型還是水平構(gòu)型，UltraFlat透射平板面形精度不變，從而在測試設(shè)置中提供更大的靈活性。

超高精度平面和球面透射元件

Mx™ 軟件

ZYGO自主設(shè)計研發(fā)的Mx™分析軟件提供強大的操作功能和完整的數(shù)據(jù)分析功能，包括Zernike，斜率，PSD / MTF / PSF，棱鏡角度，角錐以及更多。該軟件集儀器控制，數(shù)據(jù)采集和分析軟件包與一體，集成了制造過程控制，運行自動化和報告關(guān)鍵中頻特征等工具包。軟件操作界面簡單，直觀。它還包括了基于Python的腳本和遠(yuǎn)程控制接口，以實現(xiàn)更大的靈活性并集成到復(fù)雜的測試設(shè)置中。

Mx軟件，澤尼克分析結(jié)果

ITF儀器傳遞函數(shù)-它是什么，為什么它是重要的

很多年來，大家一直關(guān)注于光學(xué)元件表面的形狀誤差，但隨著對光學(xué)系統(tǒng)性能需求的增加，控制中頻特征（MSF）也變得同樣重要。對于一些性能應(yīng)用，需要嚴(yán)格控制MSF特性以減少光散射并提高光學(xué)效率。

在校正形狀誤差方面非常有效的小工具確定性拋光技術(shù)也會將不期望得到的中頻特征賦予光學(xué)表面。根據(jù)表面特性的頻率和斜率，傳統(tǒng)的干涉儀系統(tǒng)-非常適合測量表面形狀-由于分辨率有限，無法測量和量化較高頻率的表面特性。分辨率的缺失意味著更高的頻率細(xì)節(jié)被過濾（見右圖），并且在測量結(jié)果中可能根本不顯示。

這是儀器傳輸函數(shù)（ITF）的所在。激光干涉儀系統(tǒng)由于其自身的設(shè)計（光學(xué)設(shè)計，相機(jī)，波長）會衰減和過濾部分表面信息，決定了該系統(tǒng)的ITF （測量光學(xué)表面的空間頻譜的能力）。Verifire HDX激光干涉儀系統(tǒng)具有高分辨率3.4k x 3.4k傳感器和優(yōu)化的光學(xué)設(shè)計，具有比任何商業(yè)上可獲得的干涉儀系統(tǒng)更高的ITF，使其成為可靠測量和量化光學(xué)表面中頻特性的寶貴工具。這為光學(xué)設(shè)計師們提供了一種新能力，可以自信地光學(xué)表面到更高精度，并定義ITF測試要求來達(dá)到系統(tǒng)性能目標(biāo)。

用特殊設(shè)計的臺階板測量到的相位數(shù)據(jù)，臺階板上刻有密集的40nm臺階，按不同頻率沿著徑向發(fā)散變化。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀傳感器數(shù)據(jù)采集

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