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激光干涉儀3D方法

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更新時(shí)間:2022-12-18 18:19:24瀏覽次數(shù):703次

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產(chǎn)品簡介

激光干涉儀3D方法 Lasertex HPI 3D激光測量系統(tǒng)直線度測量Lasertex HPI 3D激光測量系統(tǒng)可以用三種方式實(shí)現(xiàn)直線度測量:3D測量方法(常規(guī)配置)使用復(fù)合光學(xué)棱鏡組件使用精密直線度測量光學(xué)鏡組

詳細(xì)介紹

三種方法的比較:

測量方式

量程

分辨率

精度

3D測量方法

0-6 m

0.1 μm

±( 10+ 10 x L) μm

使用復(fù)合光學(xué)棱鏡組件

0-15 m

0.01 μm

±0.2%

使用精密直線度測量光學(xué)鏡組

0.3-9 m

0.01 μm

±0.5% x L μm


3D測量方法

HPI-3D可以檢測沿測量軸向反光器RK1反射激光束的位置變化。如圖所示,以RL1返回的激光束作為基準(zhǔn),RK1返回激光束相對于基準(zhǔn)的位置變化就可以被測出。測量結(jié)果既可以用于精密控制也可以用于直線度、垂直度或者平行度測量。

1.png

與主要的干涉定位精度測量不同,3D測量獲得數(shù)據(jù)結(jié)果精度略低。



使用復(fù)合光學(xué)棱鏡組件

如圖所示,激光束在經(jīng)過IK1棱鏡時(shí)入射角為偏振角,生成兩條相互平行并且沿著測量軸向的激光束,1,2。

2.png

根據(jù)多普勒效應(yīng),當(dāng)光學(xué)組件間的距離發(fā)生變化時(shí),兩束光的頻率會(huì)發(fā)生改變。激光器僅僅對IK1與RK1之間的夾角變化非常敏感。測量結(jié)果可以用于修正較小的旋轉(zhuǎn)角度,比如機(jī)械運(yùn)動(dòng)的俯仰與偏擺。




使用精密直線度測量光學(xué)鏡組


這是另一種測量直線度,垂直度和平行度的方法。需要使用的光學(xué)組件套裝由2件鏡組組成,分光鏡WP2和反射鏡WRP2。經(jīng)過WP2的光束會(huì)按特定夾角分成2束,當(dāng)2束光的光路長度不一致時(shí),就會(huì)被激光器測出。

3.png

使用精密直線度測量光學(xué)鏡組,WRP2應(yīng)該作為固定基準(zhǔn),WP2沿著測量方向運(yùn)動(dòng)。每次測量一個(gè)方向的直線度。WP2不應(yīng)距離WRP2過近。



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