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SAMCO二手ICP刻蝕機RIE-230iP現(xiàn)貨供應(yīng)

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更新時間：2023-06-13 19:20:45瀏覽次數(shù)：204次

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產(chǎn)品簡介

SAMCOICP刻蝕機RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式，高速進行各種材料的超精細(xì)加工的負(fù)載鎖定型ICP蝕刻系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

SAMCO ICP刻蝕機RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式，高速進行各種材料的超精細(xì)加工的負(fù)載鎖定型ICP蝕刻系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過采用的龍卷風(fēng)式線圈電極，高效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體，可對硅及各種金屬薄膜和化合物半導(dǎo)體進行高精度的各向異性蝕刻。此外，?230mm的托盤可同時處理多種化合物半導(dǎo)體。