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青島佳鼎分析儀器有限公司
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更新時間：2023-06-13 19:20:45瀏覽次數(shù)：240次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線SAMCOICP刻蝕機RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式，高速進行各種材料的超精細加工的負載鎖定型ICP蝕刻系統(tǒng)
SAMCO ICP刻蝕機RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式，高速進行各種材料的超精細加工的負載鎖定型ICP蝕刻系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過采用的龍卷風式線圈電極，高效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體，可對硅及各種金屬薄膜和化合物半導體進行高精度的各向異性蝕刻。此外，?230mm的托盤可同時處理多種化合物半導體。
龍卷風線圈電極
它能有效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體，使蝕刻具有高選擇性、高精度和良好的均勻性。
低損傷工藝
通過ICP產(chǎn)生高密度的等離子體，實現(xiàn)了低偏置、低損傷的工藝。
溫度控制
電調和He冷卻的平臺和反應室內側壁的溫度控制使蝕刻在穩(wěn)定的條件下進行。
GaN、GaAs、InP等化合物半導體的高精度加工。鐵電材料、電極材料等難蝕材料的加工。
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