產(chǎn)品描述等離子刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面......

詳細(xì)介紹

工作原理

等離子刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

產(chǎn)品特點

1.觸摸屏操作界面

2.數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實時顯示

3.三色燈異常報警功能

4.自動/手動操作模式切換

5.可存儲多套工藝配方

6.遠(yuǎn)程操控，數(shù)據(jù)導(dǎo)出（可選）

7.模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大

應(yīng)用領(lǐng)域

等離子體處理可應(yīng)用于所有的基材，甚至復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、等離子體清洗，等離子體鍍膜也毫無問題。等離子體處理時的熱負(fù)荷及機械負(fù)荷都很低，因此，低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子刻蝕機的典型應(yīng)用包括：

等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、表面處理、等離子刻蝕反應(yīng)、各向異性和各向同性失效分析應(yīng)用材料改性、包裝清洗、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻、增強粘接力、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用、聚合反應(yīng)、混合物清洗、預(yù)結(jié)合清洗

產(chǎn)品參數(shù)

型號		JY-36LN
控制系統(tǒng)	控制方式	全自動控制（自動/手動切換）
		PLC（標(biāo)配）/PC（可選）
	操作系統(tǒng)	PLS定制
	觸摸屏	15寸
整機規(guī)格	尺寸	W650×D900×H1650mm
腔體	尺寸	320×280mm
	材質(zhì)	鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選）
電極	尺寸	W390×D317mm
	層數(shù)	1-7層，可選
托架	材質(zhì)	鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選）
	層數(shù)	1層
真空計	皮拉尼式真空計	1個
流量計	MFC質(zhì)量流量控制器	2個；Ar、N₂、O₂（可選）
真空泵	機械油式旋片泵	1套
發(fā)生器	中頻/射頻	40KHz，0~1000W	13.56MHz，0~500W
額定功率	整機峰值功率	4KW
機臺供電	三相五線式	AC-380V
選購品	干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H₂安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件