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中圖儀器雙頻激光干涉儀

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產(chǎn)品型號(hào)SJ6000

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更新時(shí)間：2023-04-07 15:01:26瀏覽次數(shù)：367次

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  激光干涉儀

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器雙頻激光干涉儀采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)、高速數(shù)字信號(hào)處理系統(tǒng)等技術(shù)，通過與不同的光學(xué)鏡組結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)

詳細(xì)介紹

中圖儀器雙頻激光干涉儀采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)、高速數(shù)字信號(hào)處理系統(tǒng)等技術(shù)，通過與不同的光學(xué)鏡組結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)。線性測(cè)長(zhǎng)精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000
產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）
角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測(cè)量分辨力：1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋：更多詳細(xì)產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取

中圖儀器雙頻激光干涉儀采用雙頻氦氖激光器作為光源。其精度高，抗力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測(cè)量大距離用。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。分辨率0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無(wú)線操作。

中圖儀器雙頻激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀