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美國(guó)ZYGO激光干涉儀VeriFire

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更新時(shí)間：2022-11-25 14:26:27瀏覽次數(shù)：1089次

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產(chǎn)品介紹：菲索型激光干涉儀，具有的環(huán)形光源偽跡消除抑制技術(shù)，是一種高精度、共光路面形計(jì)量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire?激光干涉儀，繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI?激光干涉儀系

詳細(xì)介紹

菲索型激光干涉儀，具有的環(huán)形光源偽跡消除

抑制技術(shù)，是一種高精度、共光路面形計(jì)量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire?激光干涉儀，繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI?激光干涉儀系列的所有優(yōu)點(diǎn)，融合了機(jī)械相移技術(shù)、革命性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動(dòng)補(bǔ)償軟件、非球面測(cè)量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等，是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。 Zygo新推出用于在震動(dòng)環(huán)境下測(cè)量的DynaFiz干涉儀。

系統(tǒng):

◆測(cè)量功能：精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前

◆測(cè)量技術(shù)：機(jī)械相移干涉測(cè)量（PSI）

◆校準(zhǔn)系統(tǒng) ：快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)

◆測(cè)量光束直徑：4″（102mm）或6″（152mm）

◆對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV ：4″：±3°；6″：±2°；

◆光學(xué)中心線：4.25″（108mm）

◆激光光源：大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，III

◆波長(zhǎng)： 633 nm

◆頻率穩(wěn)定度： < 0.0001 nm

◆相干長(zhǎng)度：＞100m

◆成像分辨率：1000 x 1000 像素