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Chotest SJ6000激光干涉儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2022-09-08 12:18:17瀏覽次數(shù):412次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:114條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

Chotest SJ6000激光干涉儀 產(chǎn)品簡介:SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的......

詳細介紹

技術(shù)指標

系統(tǒng)性能
² 測量方式:單頻
² 穩(wěn)頻精度:0.05ppm
² 動態(tài)采集頻率:50 kHz
² 預熱時間:5-10分鐘
² 工作溫度范圍:0~38℃
² 環(huán)境溫度范圍:0~38℃,環(huán)境濕度:0~95%
² 存儲溫度范圍:-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
² 空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器:±0.1kPa
線性測量
² 測量距離:0-40m
² 測量精度:0.5ppm (0-38℃)
² 測量分辨率:1nm
² 測量速度:3m/sec
角度測量
² 軸向量程:0-15m
² 測量范圍:±10°
² 測量精度:±(0.1+0.2%R+0.02M)″(R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
² 測量分辨率:0.1″
平面度測量
² 軸向量程:0-15 m
² 測量范圍:±1.5 mm
² 測量精度:±(0.6%R+0.02 M2)μm(R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
² 基板尺寸:50mm、100mm、150mm
測量分辨率:0.1μm
直線度測量
² 軸向量程:0.1-4.0 m
² 測量范圍:±3.5 mm
² 測量精度:±(0.5+0.1%R +0.15M2)μm(R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
² 測量分辨率:0.01μm
垂直度測量
² 軸向量程:0.1-3.0 m
測量范圍:±3.5mm
² 測量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″(R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
² 測量分辨率:0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸分度精度測量
² 角度測量范圍:0-360°
² 精密轉(zhuǎn)臺角度增量:5°
² 精密轉(zhuǎn)臺分度精度:±1″
² 精密轉(zhuǎn)臺重復性:0.2″

尺寸重量與供電

² 便攜箱尺寸:560×360×250(基礎(chǔ)系統(tǒng)),560×460×270(完整系統(tǒng))
² 基本重量(含三腳架,包裝):15Kg
² 供電電源:110~265VAC

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