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Verifire Asphere激光干涉儀

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產(chǎn)品型號Verifire™ Asphere™

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更新時間：2022-09-16 14:51:59瀏覽次數(shù)：300次

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上海浦量元精密機電有限公司

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聯(lián)系人：Sindy Lee(量具部); Nicole Zhu(儀器部)

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產(chǎn)品簡介

Verifire™ Asphere™激光干涉儀在ZYGO工業(yè)級Metropro軟件平臺上運行。除了具有測量非球面的能力，還能作為平面、非球面和曲率半徑測量的立體終端。Verifire™ Asphere™激光干涉儀*的軟件功能對五軸電動樣品臺的控制能夠?qū)Ψ乔蛎孢M行快速方便的調(diào)整。被測件的自動調(diào)整和數(shù)據(jù)自動采集和分析等功能使Verifire™ Asphere系統(tǒng)成為用戶理想的產(chǎn)品測量解決方案。

詳細介紹

Verifire™ Asphere™非球面檢測激光干涉儀 - ZYGO技術(shù)的上乘結(jié)合
快速，非接觸，高精度的非球面3D測量激光干涉儀Verifire™ Asphere – 運用磚利的非接觸干涉技術(shù)，在生產(chǎn)和質(zhì)量控制中，對非球面進行高精度、定量、三維的表面形貌測量。基于ZYGO的兩個核心技術(shù)和磚利的多域測量方式，開發(fā)出的系統(tǒng)可以對非球面進行高精度的測量。系統(tǒng)中多個方向軸均為電動控制，能夠?qū)崿F(xiàn)自動調(diào)整、自動采集數(shù)據(jù)和自動進行數(shù)據(jù)分析，*后得到快速、高精度、定量的非球面面形測量。
Verifire™ Asphere系統(tǒng)是由Verifire™ AT斐索型激光干涉儀和ZMI510位移干涉儀組成。線性位移干涉儀的兩個軸跟蹤被測件沿著光軸方向的運動，并且每2.5nm掃描一次，Verifire™ AT斐索型激光干涉儀上的高分辨率1K×1K CCD使得每次掃描得到高于70萬個數(shù)據(jù)點。Verifire™ AT主機如果配備Ring of Fire™擴展光源，則表現(xiàn)出更高精度的干涉測量能力。根據(jù)被測件的直徑大小，Verifire™ Asphere系統(tǒng)可以配置4英寸或6英寸的Verifire™ AT索菲型激光干涉儀主機。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀

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