激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)4m/s的測(cè)量速......

詳細(xì)介紹

1.1. 產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

▲ 主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

1. 靜態(tài)測(cè)量

2.1. 線性測(cè)量

線性測(cè)量原理 —— 邁克爾遜干涉原理

▲ 線性測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖

(1) 從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過(guò)分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；

(2) 兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；

(3) 角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離，將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測(cè)量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng)。

線性測(cè)量配置及使用方法

線性測(cè)量（線性軸位置精度測(cè)量的簡(jiǎn)稱）配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測(cè)量。其中，線性測(cè)量包括定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。

線性鏡組可以針對(duì)不同方向的運(yùn)動(dòng)軸而搭建相應(yīng)的測(cè)量光路，如下圖：

▲ 水平軸的線性測(cè)量示意圖

▲ 垂直軸的線性測(cè)量示意圖

SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件可以將線性測(cè)量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過(guò)修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來(lái)消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

線性測(cè)量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測(cè)運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí)，需設(shè)置停留時(shí)間，以供SJ6000測(cè)量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。

線性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。

▲ 機(jī)床

▲ 線性導(dǎo)軌

▲ 三坐標(biāo)

▲ 激光切割機(jī)

線性測(cè)量附件

n 輕型線性鏡組 —— 特殊場(chǎng)合的應(yīng)用

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡的重量?jī)H為8g，可以直接吸附在被測(cè)物體上，限度地降低線性反射鏡的重量影響。

▲ 輕型線性鏡組的光路原理構(gòu)建圖

主要應(yīng)用場(chǎng)合：

(1) 線性反射鏡的重量可能影響到被測(cè)軸系的機(jī)械性能或精度；

(2) 線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場(chǎng)合；

(3) 負(fù)載敏感的動(dòng)態(tài)測(cè)量。

▲ 輕型線性鏡組

輕型線性鏡組附件應(yīng)用實(shí)例：

▲ 螺紋綜合測(cè)量機(jī)的測(cè)桿校準(zhǔn)

n 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 —— 斜軸的測(cè)量

可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡本質(zhì)是可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)的平面反射鏡，通過(guò)旋轉(zhuǎn)鏡面可將光束偏轉(zhuǎn)25°~90°的角度，通常用于斜軸的測(cè)量。

▲ 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡及其光路原理構(gòu)建圖

可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實(shí)例：

▲ 斜床的傾斜軸測(cè)量

2.2. 角度測(cè)量

角度測(cè)量原理

角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生轉(zhuǎn)角，或是移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的角度值。

▲ 角度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖

角度測(cè)量配置及使用方法

角度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±10°范圍內(nèi)的角度測(cè)量。

▲ 運(yùn)動(dòng)軸的俯仰角度測(cè)量示意圖

▲ 運(yùn)動(dòng)軸的偏擺角度測(cè)量示意圖

▲ 回轉(zhuǎn)軸的角度測(cè)量示意圖

角度測(cè)量應(yīng)用

主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)軸的角擺測(cè)量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量。

▲ 直驅(qū)電機(jī)（DD馬達(dá)）的旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量

2.3. 直線度測(cè)量

直線度測(cè)量原理

▲ 直線度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖

直線度干涉鏡在移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí)，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的直線度值。

直線度測(cè)量配置及使用方法

直線度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±3mm范圍內(nèi)的直線度測(cè)量。

▲ 運(yùn)動(dòng)軸的橫向直線度測(cè)量示意圖

▲ 運(yùn)動(dòng)軸的縱向直線度測(cè)量示意圖

直線度測(cè)量應(yīng)用

▲ 測(cè)長(zhǎng)儀直線導(dǎo)軌的橫向直線度測(cè)量

直線度附件

直線度附件由大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡和直線度底座構(gòu)成。

應(yīng)用場(chǎng)合：

適用于直線度反射鏡不便于安裝在Z軸的上端或是運(yùn)動(dòng)軸的后端。

▲ 直線度附件

含直線度附件的光路原理構(gòu)建圖：

▲ Z軸直線度的光路原理構(gòu)建圖

2.4. 平行度測(cè)量

平行度測(cè)量原理

平行度測(cè)量是在直線度測(cè)量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測(cè)量由平行軸的兩組直線度測(cè)量組成，參見下面平行度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

步（測(cè)第1運(yùn)動(dòng)軸）

第二步（測(cè)第2運(yùn)動(dòng)軸）

▲ 平行度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖

平行度測(cè)量配置

平行度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測(cè)量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。

平行度測(cè)量應(yīng)用

▲ 雙直線導(dǎo)軌安裝的平行度測(cè)量

2.5. 垂直度測(cè)量

垂直度測(cè)量原理

垂直度的測(cè)量是直線度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線度測(cè)量組成，詳見下面垂直度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

▲ 垂直度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖

垂直度測(cè)量配置

垂直度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的垂直度測(cè)量需增添直線度附件。

垂直度測(cè)量應(yīng)用

▲ XY工作臺(tái)的垂直度測(cè)量

2.6. 平面度測(cè)量

平面度測(cè)量原理

平面度的測(cè)量是在角度測(cè)量的基礎(chǔ)上進(jìn)行的延伸。平面度測(cè)量一般采用“對(duì)角法"在平面上進(jìn)行相應(yīng)次數(shù)的角度測(cè)量，通過(guò)軟件算法可將角度的變化轉(zhuǎn)換為平面上高度的變化，進(jìn)而得到整個(gè)平面的平面度。

▲ 平面度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖

對(duì)角線法又稱米字法，在平面度測(cè)量時(shí)，若激光干涉儀主機(jī)位于G點(diǎn)，激光束與線GE重合，建議按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序進(jìn)行測(cè)量。

▲ 對(duì)角法測(cè)量示意圖

▲ 平面度測(cè)量的過(guò)程示意圖

平面度測(cè)量配置

平面度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、平面度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。其中，平面度鏡組由180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板和平面度旋轉(zhuǎn)鏡構(gòu)成。

平面度測(cè)量應(yīng)用

▲ 大理石平臺(tái)的平面度測(cè)量

2.7. 回轉(zhuǎn)軸測(cè)量

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量原理

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量需借助WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)，與SJ6000角度測(cè)量配合使用。將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上，作為測(cè)角標(biāo)準(zhǔn)器，WR50可實(shí)現(xiàn)0~360°的角度測(cè)量范圍，±1″的測(cè)量精度，轉(zhuǎn)速為10rpm。

假設(shè)回轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)了5°，相連的WR50則反轉(zhuǎn)5°，相對(duì)于SJ6000角度測(cè)量而言并未產(chǎn)生角度偏轉(zhuǎn)，基于該原理即可實(shí)現(xiàn)回轉(zhuǎn)軸0~360°的高精度測(cè)量。

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件會(huì)將WR50的角度值和SJ6000角度值合并進(jìn)行計(jì)算，作為回轉(zhuǎn)軸實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的角度值。

▲ 自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量配置及使用方法

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。

▲ 回轉(zhuǎn)軸測(cè)量示意圖

2. 動(dòng)態(tài)測(cè)量

2.1. 動(dòng)態(tài)測(cè)量概述

SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)。

動(dòng)態(tài)測(cè)量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量和基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件可對(duì)動(dòng)態(tài)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。

▲ 位移-時(shí)間曲線

▲ 速度-時(shí)間曲線

▲ 加速度-時(shí)間曲線

▲ 振幅-頻率曲線

2.2. 動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用

基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量

機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià)：

n 運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測(cè)試與設(shè)置

n 高速運(yùn)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測(cè)試與評(píng)價(jià)

n 高性能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測(cè)試

振動(dòng)監(jiān)視

n 掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要，但恒速對(duì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場(chǎng)合

n 機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工

振動(dòng)頻率分析

n 被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)頻率分析

n FFT快速傅立葉變換分析

基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量

基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測(cè)量，即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號(hào)，配合SJ6000激光干涉儀，可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

▲ CT70正交觸發(fā)盒

3. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

功能廣

n 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

n 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

n 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

n 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

n 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

n 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

軟件強(qiáng)

n 友好的人機(jī)界面；

n 豐富的應(yīng)用功能模塊；

n 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/span>

n 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

n 支持中文、英文和俄文界面；

n 支持企業(yè)專屬模板定制。

標(biāo)準(zhǔn)多

內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

序號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)名稱
1	GB/T 17421.2-2000	中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
2	GB 10931-1989	中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
3	ISO 230-2-1997	1997版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
4	ISO 230-2-2006	2006版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
5	ISO 230-2-2014	2014版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
6	ASME B5.54-2005	美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
7	ASME B89.1.12M-1990	美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
8	NMTBA-1997	美國(guó)機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
9	BS 3800-2-1991	英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
10	BS 4656-16-1985	英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
11	JIS B6330	日本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
12	VDI 3441	德國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
13	JJG 117-2005	平板檢定規(guī)程

4. 技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測(cè)量

測(cè)量距離：(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)

測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃

測(cè)量分辨力：1nm

測(cè)量速度：4m/s

角度測(cè)量

軸向量程：(0~15)m

測(cè)量范圍：±10°

測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)

測(cè)量分辨力：0.1″

平面度測(cè)量

軸向量程：(0~15)m

測(cè)量范圍：±1.5mm

測(cè)量精度：±(0.2%R+0.02M²)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

測(cè)量分辨力：0.1μm

直線度測(cè)量

	軸向量程	測(cè)量范圍	測(cè)量精度	分辨力
短距離	(0.1~4.0)m	±3mm	±(0.5+0.25%R+0.15M²) μm	0.01μm
長(zhǎng)距離	(1.0~20.0)m	±3mm	±(5.0+2.5%R+0.015M²) μm	0.1μm
注：R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m

垂直度測(cè)量

	軸向量程	測(cè)量范圍	測(cè)量精度	分辨力
短距離	(0.1～3.0)m	±3/M mm/m	±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m	0.01μm/m
長(zhǎng)距離	(1.0～15.0)m	±3/M mm/m	±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/m	0.01μm/m
注：R為垂直度結(jié)果；M為測(cè)量距離，單位：m

自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：WR50

角度測(cè)量范圍：(0~360)°

測(cè)量精度：±1″

分辨力：0.1″

轉(zhuǎn)速：10rpm

跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍(lán)牙傳輸

供電方式：鋰電池

正交觸發(fā)盒

信號(hào)輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號(hào)、10μApp微電流信號(hào)

輸出形式：10μs脈沖

觸發(fā)延時(shí)：0.1μs

供電電源：12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

安全要求

激光的安全等級(jí)達(dá)到Class I要求

5. 配件與證書

配件

序號(hào)	名稱	明細(xì)	備注
1	SJ6000主機(jī)	1臺(tái)，配云臺(tái)、電源適配器	標(biāo)配
2	通用三腳架	1個(gè)，配便攜包
3	筆記本電腦	1臺(tái)，配測(cè)量軟件
4	環(huán)境補(bǔ)償單元	環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)：1個(gè)，內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器
		空氣溫度探頭：1個(gè)，線長(zhǎng)5米
		材料溫度探頭：3個(gè)，線長(zhǎng)5米
5	標(biāo)配附件	USB線：2根
		磁性表座：2個(gè)
		安裝柱：4節(jié)
		輔助安裝塊：1塊
		水平儀：1個(gè)
6	線性鏡組	線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個(gè)，夾緊孔座2個(gè)
7	便攜式拉桿箱	1個(gè)，外尺寸：613mm×460mm×230mm
8	線性附件	三坐標(biāo)測(cè)頭夾具：1套	選配
9		輕型線性鏡組：小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個(gè)	選配
10		可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡：1個(gè)	選配
11	角度鏡組	角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個(gè)	選配
12	平面度鏡組	180mm、360mm可調(diào)基板，各1個(gè)，平面度旋轉(zhuǎn)鏡2個(gè)	選配
13	短直線度鏡組	短距離直線度干涉鏡、短距離直線度反射鏡，各1個(gè)	選配
14	長(zhǎng)直線度鏡組	長(zhǎng)距離直線度干涉鏡、長(zhǎng)距離直線度反射鏡，各1個(gè)	選配
15	直線度附件	大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡、直線度底座、M8接頭，各1個(gè)	選配
16	垂直度鏡組	光學(xué)直角尺、90°轉(zhuǎn)向鏡輔助安裝塊，各1個(gè)	選配
17	自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)	1臺(tái)，配卡盤、USB數(shù)據(jù)線、USB電源適配器、藍(lán)牙工具	選配
18	正交觸發(fā)盒	1臺(tái)，配電源適配器、觸發(fā)數(shù)據(jù)線	選配
19	工作服	夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服，各1件	選配

注意事項(xiàng)：

n 平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

n 平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

n 短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

n 長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組

n 直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

證書

序號(hào)	名稱	明細(xì)	備注
1	產(chǎn)品使用說(shuō)明書	1份	標(biāo)配
2	產(chǎn)品合格證、保修卡	1份	標(biāo)配
3	激光頻率校準(zhǔn)證書	n 由深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院出具 n 由中國(guó)出具：交貨期需延長(zhǎng)1個(gè)月 n 由其它機(jī)構(gòu)出具	選配
4	環(huán)境補(bǔ)償單元校準(zhǔn)證書		選配
5	線性測(cè)長(zhǎng)校準(zhǔn)證書	n 由中國(guó)出具：交貨期需延長(zhǎng)1個(gè)月 n 由其它機(jī)構(gòu)出具	選配
6	角度校準(zhǔn)證書		選配
7	直線度校準(zhǔn)證書		選配
8	光學(xué)直角尺校準(zhǔn)證書		選配