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EVG BONDSCALE晶圓鍵合系統(tǒng)

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更新時間:2024-04-27 07:24:12瀏覽次數:269次

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EVG BONDSCALE是一款針對工程基板鍵合和3D集成中的薄膜轉移工藝開發(fā)的全自動熔融鍵合平臺,將鍵合工藝引入半導體前道。

產品簡介:

EVG BONDSCALE是一款針對工程基板鍵合和3D集成中的薄膜轉移工藝開發(fā)的全自動熔融鍵合平臺,將鍵合工藝引入半導體前道。

 

主要特點及參數:

·支持12英寸(300mm)晶圓

·采用邊緣對準方式大大提高了產量降低生產成本

·采用等離子活化直接鍵合的方式,應用于不同材料、高質量工程襯底、薄Si層轉移的異質結集成。

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