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當(dāng)前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>單面/雙面光刻系統(tǒng)>> EVG IQ Aligner光刻系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG IQ Aligner是一款高自動化的光刻工藝平臺，可集成多種高精度對準(zhǔn)技術(shù)可對應(yīng)在晶圓及多種基板上的應(yīng)用，適用于大型生產(chǎn)線。
主要特點及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理
·全自動頂部及底部對準(zhǔn)：
頂部對準(zhǔn)精度≤±0.5μm
底部對準(zhǔn)精度≤±1μm
·支持Casettes, SMIF或FOUP上料
·可選配功能：
紅外對準(zhǔn)（透射或反射）
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