產(chǎn)品簡介：
EVG Hercules是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、光刻等工藝的全自動大型工藝平臺，具有功能多、產(chǎn)量高的特點。
主要特點及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理
·支持Casettes-to-Casettes全自動運行
·可擴展8個濕法模塊或24個烘烤、冷卻、真空模塊
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當前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>單面/雙面光刻系統(tǒng)>> EVG Hercules光刻系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG Hercules是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、光刻等工藝的全自動大型工藝平臺，具有功能多、產(chǎn)量高的特點。
主要特點及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理
·支持Casettes-to-Casettes全自動運行
·可擴展8個濕法模塊或24個烘烤、冷卻、真空模塊
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