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行業(yè)產(chǎn)品

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北京中科復(fù)華科技有限公司


杜邦蝕刻殘留物去除液

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參   考   價(jià): ￥ 1500

訂  貨  量: ≥1 桶

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)杜邦 EFC265

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-04-28 16:47:44瀏覽次數(shù)：220次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：12條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，以滿足關(guān)鍵的清潔需求            
從高深寬比MEMS器件100μm+ 到DRAM 的70nm集成的各個(gè)階段

詳細(xì)介紹

EFC265   接觸清潔,金屬線清潔，TSV深硅穿孔清潔等

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除

 

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除      

   

清洗接觸，金屬，穿孔和Pad

 

高度選擇性的殘留物去除 應(yīng)用：        

應(yīng)用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，以滿足關(guān)鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ 到DRAM 的70nm集成的各個(gè)階段

下面列出了常見(jiàn)的應(yīng)用程序： 

 

接觸清潔            

金屬線清潔

TSV深硅穿孔清潔           

鎢埋位線清洗            

聚酰亞胺清洗            

Pad清潔           

MEMS清洗

特征：

所有蝕刻后鋁清洗的單一解決方案

去除重有機(jī)殘留物

寬工藝窗口

高產(chǎn)率 

穿孔接觸電阻降低

鋁清洗行業(yè)基準(zhǔn)



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