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更新時(shí)間：2023-12-30 12:22:48瀏覽次數(shù)：217次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線一、設(shè)備用途： 這是一臺(tái)高真空單室有機(jī)/金屬熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，主要用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實(shí)驗(yàn)?！ ≡撛O(shè)備具有有機(jī)材料熱蒸發(fā)—沉積和金屬材料熱蒸發(fā)—沉積成膜功能。它是在高真空條件下，通過(guò)加熱材料的方法，在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜，在襯底上沉積各種金屬或合金電極并形成器件?！ 《?、設(shè)備主要技術(shù)特點(diǎn)： 1、蒸發(fā)源組件石英復(fù)合組件，為電流控制方
一、設(shè)備用途：
這是一臺(tái)高真空單室有機(jī)/金屬熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，主要用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實(shí)驗(yàn)。
該設(shè)備具有有機(jī)材料熱蒸發(fā)—沉積和金屬材料熱蒸發(fā)—沉積成膜功能。它是在高真空條件下，通過(guò)加熱材料的方法，在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜，在襯底上沉積各種金屬或合金電極并形成器件。
二、設(shè)備主要技術(shù)特點(diǎn)：
1、蒸發(fā)源組件石英復(fù)合組件，為電流控制方式，配有電壓表與電流表，3套蒸發(fā)源可實(shí)現(xiàn)2對(duì)共蒸， 2個(gè)金屬蒸發(fā)源(電極水冷)，配有2套電控系統(tǒng)，額定電壓5V，額定電流300A。
2、樣品尺寸100*100mm。
3、真空獲得為復(fù)合分子泵+機(jī)械泵，配有預(yù)抽真空系統(tǒng)，可在分子泵不停止的情況下實(shí)現(xiàn)換樣品，設(shè)備30分鐘以內(nèi)優(yōu)于2*10-3pa，極限壓力8*10-4pa。
4、密封刀口無(wú)氧銅金屬密封，其余用氟膠圈，真空管路用不銹鋼金屬波紋管路，采用超高真空閥門(mén)。
5、每個(gè)蒸發(fā)源配擋板，基片配擋板，保證鍍膜的可控性。
6、樣品旋轉(zhuǎn)可在0-30轉(zhuǎn)/分鐘調(diào)速及定位。
三、設(shè)備主要組成：
該設(shè)備由一臺(tái)有機(jī)/金屬真空蒸發(fā)鍍膜室、分子泵真空機(jī)組、樣品傳送裝置、電控系統(tǒng)、膜厚檢測(cè)、組成。
真空鍍膜室：1組有機(jī)蒸發(fā)源、2組金屬蒸發(fā)源、旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、樣品擋板、真空獲得與測(cè)量、電源系統(tǒng)等組成。真空室為前開(kāi)門(mén)式，便于取放樣品及換蒸發(fā)源，主機(jī)與機(jī)柜分體式便于維護(hù)，每組蒸發(fā)源之間有隔板隔離，避免相互污染。
四、工作條件及主要技術(shù)參數(shù)：
1、供電：～380V三相五線供電系統(tǒng)(整機(jī)容量6KW)，環(huán)境溫度10℃～40℃，冷卻水循環(huán)量0.3M3/H，水溫度15℃～30℃，氣源壓力6公斤，6毫米塑料管。
2、極限真空：8×10-4Pa(新設(shè)備);工作背景真空：2×10-3Pa;恢復(fù)工作背景真空時(shí)間30分鐘左右。
五、熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配置參數(shù)：
(一)、真空室及組件1套。
1)、 450*450*500主真空室(包括：不銹鋼U型室及門(mén)法蘭1套、XF100觀察窗及接管1套、可裝電極及接管的底法蘭1套、CF150法蘭座及接管1套、CF63法蘭座及接管1套、CF35法蘭座及接管2套、旋轉(zhuǎn)及擋板法蘭座1套、KF16接口1件)。
2)、 減速電機(jī)控制可旋轉(zhuǎn)、定位及調(diào)速樣品臺(tái)1套。
3)、 外控樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)檔板1套。
4)、 金屬及有機(jī)物蒸發(fā)源3套。(電極水冷)
5)、 外控蒸發(fā)源擋板3套。(電動(dòng)磁力轉(zhuǎn)軸)
6)、 帶腳輪、支腳、圍板機(jī)架1套。
(二)、真空獲得1套。
1)、 真空室與插板閥連接管道1套(包括KF40預(yù)抽閥連接法蘭)。
2)、 KF40手動(dòng)高真空角閥2只。
3)、 CF150插板閥2只。
4)、 600升復(fù)合分子泵1套。
5)、 KF25手動(dòng)高真空角閥1只。
6)、 KF40*1米前級(jí)不銹鋼波紋管2根。
7)、 KF40四通通1只。
8)、 KF25*1.3米預(yù)抽不銹鋼波紋管1根。
9)、 KF40壓差閥1只。
10)、 合資6升機(jī)械泵1臺(tái)。
11)、 KF16手動(dòng)充氣閥2只。
12)、 KF40卡箍9只。
13)、 KF25卡箍3只。
14)、 KF16卡箍3只。
(三)、電器控制1套。
1)、 1.6米機(jī)柜1套。
2)、 真空測(cè)量1套。(復(fù)合真空計(jì))
3)、 蒸發(fā)加熱控制電源3套(含變壓器)。
4)、 旋轉(zhuǎn)、閥門(mén)、照明及蒸發(fā)源擋板控制電源1套。
5)、 總控電源1套。
(四)、其余配件：
1)、 樣品架2套
2)、 過(guò)渡真空室1套
3)、 磁力傳送桿1套
4)、 膜厚儀1套。(注：水冷探頭)
5)、 冷卻水循環(huán)機(jī)1套
(五)、密封件及緊固件等。
(六)、設(shè)計(jì)調(diào)試及運(yùn)輸。
六、設(shè)計(jì)思路及案例：
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