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箱式多弧磁控鍍膜機 DH900DZX

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產(chǎn)品型號DH900DZX

品       牌

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更新時間:2022-11-15 16:10:10瀏覽次數(shù):226次

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產(chǎn)品簡介

DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機可鍍制不銹鋼,鉻,鎢等多種金屬,DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機可鍍制合金膜或化合物,DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質(zhì)或裝飾涂層,DH900DZX多弧磁控鍍膜機具有鍍膜速度快,膜層質(zhì)量好的優(yōu)點。DH900DZX多弧磁控鍍膜機.DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機.磁控鍍膜機

詳細介紹

DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機

DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機可鍍制不銹鋼,鉻,鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質(zhì)或裝飾涂層,具有鍍膜速度快,膜層質(zhì)量好的優(yōu)點。

◆ 真空室:鍍膜室尺寸900×900×1000mm3 ;箱式,前開門結(jié)構(gòu);

◆ 抽氣系統(tǒng):機械泵:前級泵70L/S;維持泵:2×-8旋片泵;羅茨泵:ZJP-150;擴散泵:KT-500凸腔擴泵;分子泵:FF250/1600﹝選配﹞

◆ 極限真空:5×10-4Pa; 恢復真空:5×10-3Pa﹝小于20min﹞;

◆ 鍍膜系統(tǒng):平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源;小弧源/柱弧源;

◆ 輔助鍍膜系統(tǒng):脈沖偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。

◆ 膜厚測量系統(tǒng):石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)﹝選配﹞。

◆ 進氣系統(tǒng):自動壓強控制+多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng);

◆ 操作方式:手動按鍵式;自動控型配置:研華工控機,80G硬盤,512內(nèi)存+日本三菱PLC;15英寸液晶顯示觸摸屏界面;

◆ 旋轉(zhuǎn)夾具:公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)夾具,速度從0~15r/min 無級可調(diào);

◆ 工作烘烤:室溫~300 ℃;

◆ 供電電源:三相380V,50HZ。

特殊規(guī)格可定制。


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