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DSN-MFC熱式氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時間:2023-09-01 20:25:22瀏覽次數(shù):296次

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產(chǎn)品簡介

DSN-MFC氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)  DSN系列氣體質(zhì)量流量控制器,即稱MassFlowController(縮寫為MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值

詳細介紹

  DSN-MFC氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)
  DSN系列氣體質(zhì)量流量控制器, 即稱Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
  標準量程(N2);0~1、2、3、5、10SLP;
  準精度:±1%F.S;   重復精度:±0.2%F.S
  響應時間:電特性 <10sec 氣特性<1~4sec
  線性:±(0.5~1)%F.S  工作壓差范圍:0.05~0.3MPa
  耐壓:3,10MPa;  工作環(huán)境溫度:5~65℃
  輸入輸出信號電壓:0~+5.00V(輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA
  電源:+15V500mA、-15V500mA電連接器:D14pin
  外形尺寸:130*28*121mm
  重量:約1.0kg
  接口尺寸:Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞
  VCR接頭:Φ1/4〞.Φ1/8〞

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