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日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地北京市

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更新時間:2023-05-27 19:06:29瀏覽次數(shù):258次

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產品簡介

51儀器儀表網()-專業(yè)進口儀器供應商!我們提供豐富的儀器儀表種類、有競爭力的產品價格及良好的售后服務

詳細介紹

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日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置,用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標準)。


日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器產品簡介:

HORIBA STEC質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通??煞譃轶w積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在須對流量進行準確計測和控制的領域,質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微電子加工制造業(yè)等。

提供多氣體,多量程的解決方案,是銷量很多的氣體質量流量控制器。高精度,快速響應,輕巧的尺寸。全金屬密封,橡膠密封

適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途:在普通產業(yè)市場中,擁有眾多的銷售業(yè)績,低成本:產品系列中有力求具有成本優(yōu)勢的型號:SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60

用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標準)


日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器應用領域:

化工/石化/石油/天然氣

醫(yī)藥/生命科學

食品飲料

LED FPD

冶金

電力能源及水處理

造紙

環(huán)境保護及控制

汽車

半導體/光伏

微電子

EPC及系統(tǒng)集成商



我們會努力按照原廠技術參數(shù)翻譯編輯,如技術參數(shù)中英文有差異,以英文參數(shù)為準。

日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器技術參數(shù):

型號SEC- (質量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質量流量計)E40E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時 關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?99% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0?99% F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保:15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(小負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

 

 



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