IM4000PLUS是支持?jǐn)嗝嫜心ズ推矫嫜心ィ‵lat Milling*1）的混合式離子研磨儀器。借此，可以用于適用于各種諸如對(duì)樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀(guān)察和各類(lèi)分析等，為評(píng)價(jià)目的樣品的制作。*1平面研磨（Flat Milling）是位于日本國(guó)內(nèi)的日立有限公司的注冊(cè)商標(biāo)。

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日立離子研磨儀器 IM4000PLUS

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日立離子研磨儀器 IM4000PLUS

IM4000PLUS是支持?jǐn)嗝嫜心ズ推矫嫜心ィ‵lat Milling®^*1）的混合式離子研磨儀器。借此，可以用于適用于各種諸如對(duì)樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀(guān)察和各類(lèi)分析等，為評(píng)價(jià)目的樣品的制作。

*1: 平面研磨（Flat Milling®）是位于日本國(guó)內(nèi)的日立有限公司的注冊(cè)商標(biāo)。

特點(diǎn)
功能
選項(xiàng)
規(guī)格
觀(guān)察示例

特點(diǎn)

高通量的斷面研磨

配備斷面研磨能力達(dá)到500 µm/h^*2以上的高效率離子槍。因此，即使是硬質(zhì)材料，也可以高效地制備出斷面樣品。

*2: 在加速電壓6 kV下，將Si從遮擋板邊緣伸出100 µm并加工1小時(shí)時(shí)的深度

斷面研磨

即使是由硬度以及研磨速度不同的成分所構(gòu)成的復(fù)合材料，也可以制備出平滑的斷面樣品
優(yōu)化加工條件，減輕損傷
可裝載20 mm(W) × 12 mm(D) × 7 mm(H)的樣品

斷面研磨的主要用途

制備金屬以及復(fù)合材料、高分子材料等各種樣品的斷面
制備用于分析開(kāi)裂和空洞等缺陷的斷面
制備評(píng)價(jià)、觀(guān)察和分析所用的沉積層界面以及結(jié)晶狀態(tài)的斷面

斷面研磨加工原理圖

平面研磨（Flat Milling^®）

均勻加工成直徑約為5mm的范圍
可運(yùn)用于符合其目的的廣泛領(lǐng)域
可裝載直徑50 mm × 厚度25 mm的樣品
可選擇旋轉(zhuǎn)和擺動(dòng)（±60度～±90度的翻轉(zhuǎn)）2種加工方法

平面研磨（Flat Milling^®）的主要用途

去除機(jī)械研磨中難以消除的細(xì)小劃痕和形變
去除樣品的表層
消除FIB加工的損傷

平面研磨（Flat Milling&reg）加工原理圖
平面研磨（Flat Milling®）加工原理圖

與日立SEM的樣品結(jié)合

樣品無(wú)需從樣品臺(tái)取下，就可直接在SEM上進(jìn)行觀(guān)察。
在抽出式的日立SEM上，可按照不同的樣品分別設(shè)置截面、平面研磨桿，因此，在SEM上觀(guān)察之后，可根據(jù)需要進(jìn)行再加工。

功能

冷卻溫度調(diào)節(jié)功能^*1

附冷卻溫度調(diào)節(jié)功能的IM4000PLUS

該功能可有效防止加工過(guò)程中，由于離子束照射引發(fā)的樣品的溫度上升，所導(dǎo)致樣品的溶解和變形。對(duì)于過(guò)度冷卻后會(huì)產(chǎn)生開(kāi)裂的樣品，通過(guò)冷卻溫度調(diào)節(jié)功能可防止其因過(guò)度冷卻而產(chǎn)生開(kāi)裂。

*1: 此調(diào)節(jié)功能不是IM4000PLUS的標(biāo)配功能，而是配有冷卻溫度調(diào)節(jié)功能的IM4000PLUS功能。

樣品：鉛焊料

常溫研磨

冷卻研磨

選項(xiàng)

大氣隔離樣品桿

大氣隔離樣品桿，可讓樣品在不接觸空氣的狀態(tài)下進(jìn)行研磨。
密封蓋將樣品密閉，進(jìn)入真空排氣的樣品室后，打開(kāi)密封蓋。如此，離子研磨加工后的樣品可以在不接觸空氣的狀態(tài)下直接設(shè)置到SEM^*1、FIB^*1、AFM^*2上。

*1: 僅支持附帶大氣隔離樣品更換室的日立FE-SEM和FIB。
*2: 僅支持真空型日立AFM。

鋰離子電池負(fù)極（充電后）

大氣暴露

大氣隔離

IM4000/IM4000PLUS

用于加工時(shí)觀(guān)察的立體顯微鏡

IM4000、IM4000PLUS通過(guò)設(shè)置在樣品室上方的立體顯微鏡，可觀(guān)察到研磨過(guò)程中的樣品。
如果是三目型，則可以通過(guò)CCD攝像頭^*3進(jìn)行監(jiān)控觀(guān)察。

*3: CCD攝像頭以及監(jiān)控器由客戶(hù)準(zhǔn)備。

三目型（用于連接CCD攝像頭）/用于加工時(shí)觀(guān)察的立體顯微鏡（雙目型）

規(guī)格

規(guī)格
項(xiàng)目	內(nèi)容
	IM4000PLUS	IM4000PLUS
	斷面研磨桿	平面研磨桿
使用氣體	Ar（氬）氣
加速電壓	0 ～ 6 kV
研磨速度（Si材料）	500 µm/hr^*1 以上	-
樣品尺寸	20（W）× 12（D）× 7（H）mm	Φ50 × 25（H） mm
離子束間歇照射功能	標(biāo)配
尺寸	616（W）× 705（D）× 312（H）mm
重量	機(jī)體48 kg＋回轉(zhuǎn)泵28 kg
附冷卻溫度調(diào)節(jié)功能的IM4000PLUS
冷卻溫度調(diào)節(jié)功能	通過(guò)液氮間接冷卻樣品、溫度設(shè)定范圍：0°C ～－100°C
選項(xiàng)
空氣隔離樣品夾持器	僅支持?jǐn)嗝嫜心A持器	-
FP版斷面研磨夾持器	100 µm/rotate^*2	-
用于加工監(jiān)控的顯微鏡	倍率 15 × ～ 100 × 雙目型、三目型（支持CCD）

*1: 將Si從遮擋板邊緣伸出100 µm并加工1小時(shí)的深度
*2: 千分尺旋轉(zhuǎn)1圈時(shí)的遮擋板移動(dòng)量。斷面研磨夾持器比為1/5