CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

v 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠的均一性。

v 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設(shè)置），可選配10個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段，z多100個階段。

v 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

v 多重安全保護(hù):

? 電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；

? 蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人；

? 雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實驗人員安全。

v 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險。

v 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

v 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計，取放樣品方便。

v 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。

v 上下雙腔體設(shè)計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置

v 可選氮?dú)獯蹈?、氮?dú)獗Ｗo(hù)，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供多種的操作便利性。

v 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

技術(shù)參數(shù)

型號	轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分）	轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度	勻膠時間	旋涂基片尺寸mm	外型尺寸（LxWxH）mm
SC1	50-10000	±1％	0-2000秒	圓片Φ5-Φ100,方片z大100x100	310x260x250