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武漢月憶神湖科技有限公司
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更新時間:2023-09-16 11:28:50瀏覽次數(shù):167次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線德國SPS POLOS勻膠機SPIN150i采用無刷式馬達(dá),具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動快速,涂膠一致性和均勻性好等特點,廣泛應(yīng)用于鈣鈦礦太陽能電池、半導(dǎo)體芯片制造、MEMS等領(lǐng)域。
品牌 其他品牌 適用基片尺寸 160毫米直徑圓片,4英寸方片; 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速范圍 1~12000RPM** 旋轉(zhuǎn)加速度 30000RPM/S 轉(zhuǎn)速精度 ±0.1rpm
一、德國SPS POLOS勻膠機SPIN150i產(chǎn)品特點和技術(shù)參數(shù):
1、結(jié)構(gòu):
(1)旋涂腔體直徑為202毫米,適用于小尺寸碎片至160 mm 直徑圓片或 4" x 4" 方片;
(2)NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蝕結(jié)構(gòu)為整個系統(tǒng)提供更好的剛性和韌性;
(3)旋涂腔室材質(zhì)為NPP(天然聚丙烯),特殊應(yīng)用可選用高耐化學(xué)性的PTFE(TFM™);
(4)高品質(zhì)無縫制造表面,全工程塑料;
(5)機身尺寸為:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm,適用于通風(fēng)廚和手套箱使用;
2、數(shù)字電機控制:
(1)具有數(shù)字增量速度信號的數(shù)字實時閉環(huán)控制伺服電機反饋;
(2)允許具有廣泛旋轉(zhuǎn)速度參數(shù)的用戶以更安靜的方式進行工作/實驗,系統(tǒng)高速運行時更穩(wěn)定,振動更少;
(3)提供高性能無刷電機,有著高精度的轉(zhuǎn)速(±0.1 rpm)和寬范圍的轉(zhuǎn)速(1至12,000 rpm),這是傳統(tǒng)PID電機控制器無法實現(xiàn)的;
3、程序配方數(shù)目存儲不設(shè)限,可用于多個步驟的配方,每個配方均適用于:
(1)旋涂時間:0.1至99999秒/步;
(2)旋涂轉(zhuǎn)速:0至12,000 rpm;
(3)旋轉(zhuǎn)方向:順時針,逆時針,順、逆時針交換攪動;
(4)旋涂加速度:1至30,000 rpm / sec(每步可選);
(5)真空:開/關(guān);
(6)3個可編程的干觸點:例如用于分配單元,氮氣擴散器等的自動控制;
4、設(shè)備控制器:
(1)可拆卸的全尺寸觸摸屏,手套防護,IP 52,耐化學(xué)腐蝕;
(2)彩色觸摸屏顯示,可輕松編程速度,加速度和時間;
5、安全聯(lián)鎖:
(1)Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定,并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標(biāo)時才能打開;
(2)電磁蓋聯(lián)鎖在打開時停止旋轉(zhuǎn),而真空聯(lián)鎖(可編程)在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉(zhuǎn),防止傷害使用者并避免基材破裂;
(3)具有國際CE標(biāo)志和過載保護的電氣安全;
6、透明蓋:
(1)透明蓋清晰可見內(nèi)部,帶有注射器支架和N2擴散器,可手動分配注膠以及在處理過程中進行N2吹掃;
(2)注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學(xué)物質(zhì);
(3)控制室環(huán)境對于恒定的過程結(jié)果至關(guān)重要;
(4)堅固的自彈式蓋鉸鏈,可自動將蓋保持在狀態(tài),以便輕松搬運和卸下基板,同時確保蓋子上的殘留化學(xué)物質(zhì)都流入系統(tǒng)排水口;
7、連接:
(1)三個可編程繼電器輸出,可用于操作自動分配系統(tǒng),外部閥或其他附件。
(2)多種chuck可供選擇,適用用于不同尺寸的基板。
8、USB端口:可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本;
9、存儲:結(jié)構(gòu)化和受密碼保護的方案存儲,可輕松安全地進行管理;
10、配套真空泵系統(tǒng):無 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;
SPIN150i勻膠機的安裝和使用
二、德國SPS POLOS勻膠機SPIN150i應(yīng)用領(lǐng)域:
1、適應(yīng)于鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備;
2、半導(dǎo)體芯片制造;
3、MEMS制版的表面涂覆;
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