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SRS-500型五靶磁控濺射鍍膜機 新材料研發(fā)用全自動磁控濺射PVD鍍膜儀

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更新時間：2023-08-05 18:10:40瀏覽次數：229次

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產品簡介

SRS-500型磁控濺射PVD系統，最多可配備五個獨立濺射靶位，采用渦輪分子泵組和自動壓控系統等配置，適用于沉積各種金屬和反應膜層

詳細介紹

 

SRS-500型磁控濺射PVD系統，最多可配備五個獨立濺射靶位，采用渦輪分子泵組和自動壓控系統等配置，適用于沉積各種金屬和反應膜層。可實現單靶直濺和多靶共濺功能。適合快速制備多層金屬、反應化合膜、半導體介質復合膜等，配備精密沉積速率控制系統，非常適合新材料研發(fā)和小批量生產使用。

主要特點：

  • 大抽速真空系統，即插即用快捷方便；
  • 最多五個獨立磁控靶位可輕松切換功能，快速制作多種金屬和反應介質膜；
  • 預設參數全自動沉積無需人為干預；
  • 材料和基板安裝方便實用，單片公轉可沉積φ280的膜片，可實現公自轉載具切換功能。
  • 配備射頻源，可實現多種膜層工藝要求。

應用領域：

  • 金屬和介電膜
  • 薄膜傳感器的制造
  • 光學元件
  • 納米與微電子
  • 太陽能電池

主要功能配置說明：

  • Φ500mm*420mm(h)圓形不銹鋼腔室（可選玻璃腔室）
  • 700L/s渦輪分子泵+雙級旋片泵真空泵組。
  • 全量程復合真空計，自動控制不同工藝壓力。
  • 電動壓控插板閥全程壓力自動控制。
  • 四個獨立2英寸濺射靶+2個熱蒸發(fā)源，或5個獨立濺射靶位，可同時濺射多種靶材。
  • 配準備DC電源和RF電源更利于濺射多種金屬和介質膜層。
  • MFC精密氣體控制系統。
  • 石英晶體監(jiān)測系統用于實時厚度測量。
  • 斜拉伸縮式觸控屏可預設控制沉積過程和快速數據輸入。
  • 用戶友好軟件系統，可以通過網絡更新。
  • 一鍵式全自動升降系統，便于操作。
  • 精密溫控系統和基片前后加熱裝置可精確控制控基片＞800°C。
  • 伸縮式基片掛架，可輕松調節(jié)濺射距離和切換公自轉模式。
  • 自動腔體外包圍環(huán)繞冷卻系統，避免高溫鍍膜時腔室壁溫度過高。

系統外觀圖如下：

腔室結構圖如下：

四靶位濺射+2個獨立熱蒸發(fā)單元

五個獨立濺射靶位腔室結構圖

轉架結構圖：

外形尺寸圖：

  • 技術指標
  • 系統真空度：≤6 x10-5 Pa (經烘烤除氣后)；
  • 系統檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S，停泵關機12小時后保壓≤5 Pa；
  • 濺射成膜速率：各種材料綜合速率≥10nm/min；
  • 膜厚均勻性：公自轉綜合均勻度≤5%。
  • 主要功能單元配置
  • 更多PVD系統工藝說明可查閱本站點解決方案目錄：/jjfa

鑫鐳真空專業(yè)為科研項目和企業(yè)制作用于薄膜材料實驗的小型多靶濺射PVD系統，提供各種真空鍍膜工藝設備搭配定制、鍍膜機機的全系統整合、升級和專用系統定制以及真空設備整機維修、安裝等服務。質量可靠，提供多個案列參考。

 

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