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上海艾時(shí)微技術(shù)開(kāi)發(fā)有限公司
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更新時(shí)間：2023-05-12 16:25:50瀏覽次數(shù)：307次
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D-600可以對(duì)幾納米到1200µm的2D和3D臺(tái)階高度、粗糙度、應(yīng)力進(jìn)行測(cè)量。
一、簡(jiǎn)介
KLA*的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600，可精確測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力，集高測(cè)量精度、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體，是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇。因其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。
二、 功能
設(shè)備特點(diǎn)
·臺(tái)階高度：幾納米至1200μm
·低觸力：0.03至15mg
·視頻：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭
·梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
·圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
·緊湊尺寸：占地面積小的臺(tái)式探針式輪廓儀
·軟件：用戶(hù)友好的軟件界面
主要應(yīng)用
·臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度
·紋理：2D粗糙度和波紋度
·形式：2D翹曲和形狀
·應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
應(yīng)用領(lǐng)域
·大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
·半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
·SIMS：二次離子質(zhì)譜
·LED：發(fā)光二極管
·太陽(yáng)能
·MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)
·汽車(chē)
·醫(yī)療設(shè)備
三、應(yīng)用
·臺(tái)階高度
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1200μm的2D和3D臺(tái)階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。
·紋理：粗糙度和波紋度
Alpha-Step D-600測(cè)量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過(guò)濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計(jì)算諸如均方根（RMS）粗糙度之類(lèi)的參數(shù)。
·外形：翹曲和形狀
Alpha-Step D-600可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類(lèi)翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
·應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
Alpha-Step D-600能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤(pán)將樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。 然后通過(guò)應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來(lái)計(jì)算應(yīng)力。
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