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HRP®-260臺(tái)階儀（探針式輪廓儀）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品描述HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

HRP^®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀。HRP的性能經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證，能夠進(jìn)行自動(dòng)化晶圓裝卸、可為半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和相關(guān)行業(yè)提供服務(wù)。P-260配置支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的二維及三維測(cè)量，其掃描深度可達(dá)200mm而無需圖像拼接。HRP^®-260配置的功能與P-260相同，并增加了能夠?qū)π√卣鬟M(jìn)行高分辨率和高產(chǎn)量測(cè)量的高分辨率平臺(tái)。

HRP^®-260的雙平臺(tái)功能可以進(jìn)行納米和微米表面形貌的測(cè)量。P-260配置提供長(zhǎng)掃描（最長(zhǎng)200mm）的功能，無需圖像拼接，HRP^®-260提供高分辨率掃描平臺(tái)，掃描長(zhǎng)度可達(dá)90μm。P-260結(jié)合了UltraLite^®傳感器、恒力控制和超平掃描的功能，實(shí)現(xiàn)了出色的測(cè)量穩(wěn)定性。HRP^®-260采用高分辨率壓電掃描平臺(tái)提高性能。通過采用點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、低倍和高倍率光學(xué)系統(tǒng)以及高分辨率數(shù)碼相機(jī)，其程序設(shè)置快速簡(jiǎn)便。HRP^®-260支持二維和三維測(cè)量，具有各種濾鏡、調(diào)平和數(shù)據(jù)分析算法，以量化表面形貌。并且通過自動(dòng)晶圓裝卸、圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。