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武漢頤光科技有限公司


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ME-L 穆勒矩陣光譜橢偏儀

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更新時間:2023-08-28 20:19:29瀏覽次數(shù):292次

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產(chǎn)品簡介

ME-L 是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了頤光科研團(tuán)隊在橢偏技術(shù)多年的研發(fā)投入,其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù),包括消色差補(bǔ)償器、雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等??蓱?yīng)用于各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及...

詳細(xì)介紹

  • 一、概述

    ME-L 是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了頤光科研團(tuán)隊在橢偏技術(shù)多年的投入,其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù),具備 1 全穆勒矩陣測量技術(shù), 2 雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制技術(shù),3 超級消色差補(bǔ)償器設(shè)計技術(shù),4 納米光柵表征測量技術(shù) 等技術(shù)??蓱?yīng)用于各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及一維/二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表征分析,代表當(dāng)今橢偏行業(yè)高精尖技術(shù)水平。

    ■ 雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器(DRC)配置一次測量全部穆勒矩陣16個元素;

    配置自動變角器、五維樣件控制平臺等優(yōu)質(zhì)硬件模塊;

    軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計,易上手、操作便捷;

    豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力


    二、產(chǎn)品特點(diǎn)

    采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm);

    ■ 可實(shí)現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理,測量信息量更大,測量速度快、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn);

    基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置,可一次測量獲得全穆勒矩陣的16個元素,相對傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面測量信息;

    頤光核心技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi),提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜;

    數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料;

    集成對納米光柵的分析,可同時測量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息;


    使用頤光科技橢偏儀系列產(chǎn)品,(部分)提及并標(biāo)注“Eoptics Technology"文獻(xiàn)信息

    ? "Giant in-plane optical and electronic anisotropy in tellurene: a quantitative exploration." Nanoscale(2022).單位:華中科技數(shù)字裝備制造國家重點(diǎn)實(shí)驗室,通訊作者:谷洪剛,劉世元 等

    ? "Enhanced light emission of quantum dot films by scattering of poly(zinc methacrylate) coating CdZnSeS/ZnS quantum dots and high refractive index BaTiO3 nanoparticles." ACS Nano (2020).單位:南方科技大學(xué),通訊作者:孫小衛(wèi) 等

    ? "High performance flexible organic photomultiplication photodetector based on ultra-thin silver film transparent electrode." Nanotechnology (2020).單位:太原理工大學(xué),通訊作者:崔艷霞 等

    ? "Layer-Dependent Dielectric Function of Wafer-Scale 2D MoS2." Advance Optical Materials (2018).單位:華中科技大學(xué)數(shù),通訊作者:劉世元 等

    ? "Ellipsometric study of the complex optical constants of a CsPbBr3 perovskite thin film." Journal of Materials Chemistry C(2017).單位:山東大學(xué),通訊作者:連潔 等

    ?"High-Performance Polymer Tandem Solar Cells Employing a New n-Type Conjugated Polymer as an Interconnecting Layer." Advance Materials(2016).單位:華南理工大學(xué)發(fā)光材料與器件國家重點(diǎn)實(shí)驗室,通訊作者:葉軒立,黃飛 等


    應(yīng)用領(lǐng)域:
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    集成電路|IC集成電路檢測解決方案
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    i970eferdf_small.jpg
    科學(xué)研究|新型材料物性以及理論模型研究


    可選配件
    TCS.png

    Mapping.png

    ME-L0.png

    ME-L.png

    溫控臺Mapping模塊真空氣泵透射夾具



  • ME-L.JPG

    ME-參數(shù).JPG

  • 關(guān)鍵詞:橢偏儀 補(bǔ)償器 芯片
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