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橢偏儀

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北京朗銘潤(rùn)德光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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詳細(xì)介紹

指標(biāo)特點(diǎn)	Elli-SE	μ-Spot Spectroscopic Ellipsometer
測(cè)量常數(shù)	膜層厚度，折射率n，消光系數(shù)k，波長(zhǎng)λ	膜層厚度，折射率n，消光系數(shù)k，波長(zhǎng)λ
膜厚范圍	亞埃級(jí)-10微米（取決于膜層）	亞埃級(jí)-10微米（取決于膜層）
波長(zhǎng)范圍	240 ~ 1050 nm （紫外線） or 380 ~ 1050 nm 光譜范圍選項(xiàng)：Duv深紫外:193nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm	240 ~ 1050 nm（紫外線）光譜范圍選項(xiàng)：Duv深紫外:190nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
測(cè)量能力	正常模式（~10 sec）快速（1~3 sec）每點(diǎn)（取決于膜層）	正常模式（~10 sec）快速（1~3 sec）每點(diǎn)（取決于膜層）
束斑直徑-尺寸	1.5 mm (可選 100μm, 50 μm, 20 μm)	10μm, 25 μm, 50 μm, 100μm
入射角	45°~90°（自動(dòng)變換角度）	45°~90°（自動(dòng)變換角度）
膜層數(shù)量	多至10層（取決于膜層）	多至10層（取決于膜層）
重復(fù)性	10次測(cè)量在(3σ) ±0.3 Å	10次測(cè)量在(3σ) ±0.3 Å
色散關(guān)系	Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學(xué)）, Drude-TL, Drude-QM 等	Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學(xué)）, Drude-TL, Drude-QM等
提供功能	折射率、消光系數(shù)和光帶隙薄膜密度和組成，材料的色散函數(shù)庫用戶定義的模型功能，數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出功能，可擴(kuò)展庫	折射率、消光系數(shù)和光帶隙薄膜密度和組成，材料的色散函數(shù)庫用戶定義的模型功能，數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出功能，可擴(kuò)展庫
應(yīng)用	介質(zhì)層，半導(dǎo)體，聚合物的厚度測(cè)量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導(dǎo)體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池	介質(zhì)層，半導(dǎo)體，聚合物的厚度測(cè)量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導(dǎo)體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池