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高品質(zhì)SiC晶體生長爐

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更新時(shí)間：2022-12-26 14:31:53瀏覽次數(shù)：942次

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產(chǎn)品簡介

Aymont目前生產(chǎn)和款商業(yè)型晶體生長爐，可用于量產(chǎn)150mm

詳細(xì)介紹

Aymont目前生產(chǎn)和款商業(yè)型晶體生長爐，可用于量產(chǎn)150mm。SP-150生長爐主要將用來量產(chǎn)150mm SiC晶圓。

 

SiC量產(chǎn)解決方案

主要特點(diǎn)

• 電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長爐

• 雙壁水冷石英管

• 2英寸，100mm或150mm晶圓工藝

• 高溫計(jì)控制和電源控制，保證生長爐穩(wěn)定運(yùn)行

• 自動(dòng)PLC控制、帶工藝、觸屏、安全互鎖/警報(bào)等功能

• 遠(yuǎn)程監(jiān)測和控制

• 占地空間最小的SiC生長爐

 

應(yīng)用領(lǐng)域

• 電力電子（肖特基二極管/MOSFETs場效晶體管/JFETs結(jié)型場效應(yīng)晶體管/IGBTs絕緣柵雙極晶體管,BJTs晶體管/晶體閘流管/SiC pn結(jié)二極管）

• 功率因數(shù)補(bǔ)償/太陽能逆變器/電動(dòng)汽車

• 基片晶圓/GaN基HB-LEDs/顯示屏/汽車/通用照明

• GaN基高頻器件

 

 

關(guān)鍵詞：生長爐 逆變器
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