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八帆儀器設(shè)備（上海）有限公司
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更新時(shí)間：2024-02-18 13:19:29瀏覽次數(shù)：288次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線MPI手動(dòng)晶圓級(jí)探針臺(tái)系統(tǒng)
TS300-SE Probe System
MPI TS300-ShielDEnvironment™（TS300-SE）12英寸探針臺(tái)旨在對(duì)300mm晶圓及以下微小器件提供高級(jí)EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪聲，低泄漏測(cè)量功能環(huán)境。 它以高度與防震臺(tái)結(jié)合在一起，使日常操作非常方便。
適用于多種晶圓量測(cè)應(yīng)用
TS300-SE Probe System細(xì)節(jié)優(yōu)勢(shì)
MPI TS300-SE手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)具有的功能。具有高度可重復(fù)性（1µm）的壓板提升設(shè)計(jì)，具有用于安全，接觸(0µm)，分離（300µm）和加載（3mm）的三個(gè)抬升位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時(shí)提供直觀的控制，準(zhǔn)確的觸點(diǎn)定位和安全設(shè)置。 附加的Probe Hover Control™具有懸停高度（50、100或150 µm），可輕松方便地將探針與卡盤對(duì)齊。
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是一個(gè)高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng)，可提供超低噪聲、低電容測(cè)量提供出色的EMI和不透光的測(cè)試環(huán)境。
ShielDCap™
MPI ShielDEnvironment™微暗室屏蔽系統(tǒng)提供多達(dá) 4個(gè)端口的RF或多達(dá)8個(gè)端口的DC / Kelvin等多種搭配測(cè)試組合。
MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于重新配置,在簡(jiǎn)化日常操作方面發(fā)揮了重要作用。
空氣軸承
MPI的氣墊載物臺(tái)設(shè)計(jì)，具有簡(jiǎn)單的單手定標(biāo)器控制，為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了的操作便利性，同時(shí)又具有精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機(jī)芯，不影響精確定位能力。
的卡盤Z調(diào)整
TS300-SE除空氣軸承XY工作臺(tái)外還包括5mm的Z吸盤調(diào)整（μm分辨率），可實(shí)現(xiàn)精確的接觸/超程控制或探針卡跌落校正。
1毫米刻度指示器為操作員提供了簡(jiǎn)便的反饋，另外20毫米氣動(dòng)舉升機(jī)提供了便攜式的一鍵升降程序。
多種卡盤選項(xiàng)
TS300-SE可提供多種卡盤選件，以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求。
MPI和ERS共同設(shè)計(jì)了新型300mm熱卡盤AirCool®PRIME技術(shù)系列，提供的熱彈性，溫控時(shí)間可減少60%，同時(shí)還可提供市場(chǎng)上的熱范圍。
減少轉(zhuǎn)換時(shí)間，改善電氣性能，使在惰性氣體環(huán)境下的測(cè)試更容易，另外的現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)性是AirCool®PRIME熱卡盤系統(tǒng)的附加價(jià)值。
卡盤有以下幾種型號(hào)：同軸、三軸或RF、高壓等多種型號(hào)，帶有兩個(gè)輔助陶瓷卡盤，可用于精確穩(wěn)定的校準(zhǔn)。
溫度控制集成
晶圓裝載門可在低于15°C的任何溫度下鎖定，此功能使TS300-SE成為市場(chǎng)上的手動(dòng)探針臺(tái)。
此外，溫控系統(tǒng)可以通過(guò)集成式的觸摸屏進(jìn)行操作，該觸摸屏按人體工程學(xué)原理安裝在探測(cè)器上的方便位置，以實(shí)現(xiàn)快速調(diào)整和即時(shí)反饋。
ERS的AC3冷卻技術(shù)
MPI旗下探針臺(tái)系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術(shù)及其空氣管理系統(tǒng)，可直接從“已用"空氣中清除MPI ShielDEnvironment™，與市場(chǎng)上的其他系統(tǒng)相比，可減少多達(dá)30％至50％的干燥空氣消耗。
多種光學(xué)選項(xiàng)
MPI光學(xué)器件可以選擇單筒顯微鏡MPI SuperZoom™SZ10，高達(dá)12倍光學(xué)變焦的MegaZoom™MZ12或超過(guò)42毫米工作距離的EeyZoom™EZ10 ——其具有人體工程學(xué)20倍目鏡的10倍光學(xué)變焦系統(tǒng)，90mm工作距離和低至2um以下的光學(xué)分辨率。
的升級(jí)途徑
MPI旗下全套探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)均具備模塊化設(shè)計(jì)創(chuàng)造了的升級(jí)途徑。所有TS300-SE探測(cè)附件，例如熱卡盤，顯微鏡和定位器，都可以升級(jí)或重新配置，以適應(yīng)涵蓋工具壽命的各種應(yīng)用需求，從而使擁有成本降低。
具有ShielDEnvironment™的MPI TS300-SE探針系統(tǒng)可提供的EMI屏蔽，并允許進(jìn)行低噪聲的器件在片測(cè)量，從而可廣泛用于各種應(yīng)用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片級(jí)可靠性，失效分析， 設(shè)計(jì)驗(yàn)證和大功率等。
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