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英國VacCoat 系列離子濺射儀

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更新時間:2022-12-26 17:03:52瀏覽次數:237次

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產品簡介

VacCoat鍍膜儀,可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜,十分適用于高分辨率和高質量樣品的表征。

詳細介紹

    VacCoat公司
    Vac Coat有限公司是高質量定制物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng)的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有25年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發(fā)團隊在學界科學家和工程師的支持下,高度積極地開發(fā)新設計以滿足客戶的特殊要求。

    Vac Coat的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。Vac Coat的真空鍍膜機系統(tǒng)已通過遍布的分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。


     

    1DSR1




     


    儀器描述:
    該產品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。

    產品特點:

    ? 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速

    ? 通過觸摸屏中直觀檢測數據和曲線;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
    ? 可控鍍膜速率,可得到更精細的晶粒結構
    ? 可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射
    ? 可聯(lián)網更新用戶友好軟件





     

     

    ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)

    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。

     




    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

    ? 符合CE標準

    產品參數:

    ? 2英寸磁控管陰極

    ? 兩級直驅4m3/h旋片機械泵

    ? Pyrex樣品倉:外徑170mm,高140mm,

    ? 尺寸:50(W) x 37(D) × 45(H) Cm

    ? 運輸重量(包括真空泵):42kg

    ? 電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

    ? 極限真空度:小于40 mTorr

    ? 電子控制快門

    ? 電子控制真空閥

     

    2、DCR

     



     

    儀器描述:
    DCR是一臺結構緊湊的臺式鍍碳儀??捎糜趻呙桦娮语@微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)和能譜分析(EDX)制樣。

     

    產品特點:
    ? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少



    ? 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監(jiān)測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
    ? 可聯(lián)網更新用戶友好軟件
    ? 可記錄和繪制涂層參數圖表



     

       

     ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)

    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。



     

         

    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

    ? 符合CE標準


    產品參數:

    1、真空泵:二極直驅旋片機械泵(4m3/h)

    2、極限真空度:小于50 mTorr

    3、Pyrex 樣品倉:外徑170mm,140mm,

    4、0-25A脈沖直流開關電源

    5、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H x W x D)

    6、電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

    7、電子控制快門

    8、精密真空壓力控制閥

    9、USB數據傳輸端口

    10、運輸重量:46kg


     

    3、DSCR

     



     

     

    儀器描述:
    DSCR型臺式多功能鍍膜儀,是一臺緊湊型涂布系統(tǒng),集離子濺射系統(tǒng)和鍍碳系統(tǒng)于一體。該系統(tǒng)能夠在不導電或導電性差的樣品上濺射金(Au)、鈀(Pd)、鉑(Pt)和金/鈀(Au/Pd)等貴金屬,并且可以在樣品上鍍上碳膜。
    DSCR是一臺多功能掃描電子顯微鏡制樣設備。全自動操作選項使得即使是初學者,也可以輕松使用系統(tǒng),形象的用戶友好軟件,簡化了對沉積信息的感知。

     

    產品特點:
    ? 精密可復制涂層:可重復膜厚沉積
    ? 高分辨率精細涂層(金顆粒可達2nm)
    ? 低壓濺射
    ? 無需冷卻系統(tǒng)
    ? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少可使用雙碳纖維蒸鍍,用于厚層沉積
    ? 易于操作:7’’彩色觸摸屏直觀控制涂布過程,數據輸入簡單快速
    ? 用戶友好的全自動及半自動控制軟件
    ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
    ? 符合CE標準

     

    產品參數:
    1、真空泵:二極直驅旋轉機械泵(4m3/h)
    2、Pyrex 樣品倉:外徑170mm,140mm,
    3、儀器尺寸:45(H)x50(W)37×(D)Cm
    4、2英寸磁控管陰極
    5、極限真空度:小于50 mTorr
    6、電子控制快門
    7、自動控制泄露閥
    8、電源:220V-240V, 50/60HZ- 10A
    9、80W直流開關電源
    10、運輸重量:42kg

     

    4、DST1-170



     

    產品描述:
    DST1-170是一臺結構緊湊的臺式磁控離子濺射儀。適用于金屬材料濺射,包括惰性金屬以及氧化性金屬,DST1-170配有直徑為2英寸的磁控管陰極。在較短時間內即可形成晶粒尺寸均勻的薄膜。
    DST1-170高真空濺射儀,可提供高質量的均勻薄膜,具有較細的晶粒尺寸,十分適用于樣品的高分辨和高品質表征,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD,也可應用于科研和各種薄膜的應用研究中,如:納米和微電子、太陽能電池應用、光學元件涂層合薄膜傳感器等。

    產品特點:
    ? 高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)+二級旋片式真空泵的前級泵,為儀器提供了潔凈的高真空,減少了污染。


    ? 涂層速率可控,可獲得更細的晶粒結構

    ? 可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射

    ? 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監(jiān)測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。

    ? 觸摸屏直觀地控制涂布過程,數據輸入簡單快速

    ? 可通過網絡更新的用戶友好軟件

    ? 可記錄和繪制涂層參數圖

    ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)

    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。

    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

    ? 符合CE標準


    產品參數:

    1、高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)

    2、二極直驅旋片機械泵(4m3/h)

    3、極限真空:小于5x10-6 Torr

    4、獨立于壓力自動控制濺射功率

    5、全量程真空計(Leybold)

    6、ISO-KF 63蝶形閥

    7、80 W直流電源

    8、電子控制快門

    9、電控氬氣泄漏閥

    10、設施:220V-240V,50/60HZ-16A

    11、運輸重量:36kg

     

    5DCT




     

    產品描述:
    DCR是一臺裝有渦輪泵的碳鍍儀,可提供細粒度均勻的高質量碳膜,適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品,尤其適合FE-SEM,EDS/WDS,TEM,EBSD和薄膜應用研究等。

    產品特點:
    ? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少
    ? 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監(jiān)測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
    ? 可聯(lián)網更新用戶友好軟件
    ? 可記錄和繪制涂層參數圖表



     

     ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)

    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果

    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

    ? 可選用碳棒蒸發(fā)源及適配大電流電源

    ? 符合CE標準

    產品參數:

    1、高真空渦輪分子泵90 l/s Leybold

    2、二級旋片式真空泵作為分子泵前級泵

    3、全量程真空計

    4、真空倉:外徑170mm,140mm

    5、0-25A脈沖直流開關電源

    6、極限真空度:小于50×10-6 Torr

    7、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H × W × D)

    8、電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

    9、用于精確控制真空壓力的精密計量閥

    10、電子控制快門

    11、涂層參數實時圖

    12、USB數據傳輸端口

    13、運輸重量:46kg

     

    6、DSCT



     

    產品描述:
    DSCT是一臺多功能的涂布系統(tǒng),集濺射鍍膜機和纖維碳鍍膜機于一體:在一臺儀器中具有可互換的磁頭。
    DSCT高真空鍍膜機,可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜,適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。
    DSCT具有2''磁控管陰極,80w直流開關電源和碳蒸發(fā)大電流電源,也可用于科研及不同薄膜的應用研究中。
     

    產品特點:
    ? 高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)+二級旋片式真空泵的前級泵,為儀器提供了潔凈的高真空,減少了污染。



    ? 涂層速率可控,可獲得更細的晶粒結構
    ? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少
    ? 可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射
    ? 7’’彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監(jiān)測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
    ? 觸摸屏直觀地控制涂布過程,數據輸入簡單快速
    ? 可通過網絡更新的用戶友好軟件
    ? 可記錄和繪制涂層參數圖
    ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
    ? 符合CE標準


    產品參數:
    1、極限真空:小于5×10-6 Torr
    2、獨立于壓力自動控制濺射速率
    3、用于精確控制真空壓力的精密質量流量計(MFC)
    4、可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
    5、設施:220V-240V,50/60HZ-16A
    6、運輸重量:42kg



    整體型號的選型:



    儀器特點

    VacCoat擁有離子濺射噴金儀、鍍碳儀,以及集噴金與鍍碳于一體的型號,用戶可根據不用應用,選擇高真空以及低真空的不同型號。
    VacCoat鍍膜儀,可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜,十分適用于高分辨率和高質量樣品的表征。
    ?噴金系統(tǒng)具有2''磁控管陰極,磁控建設,減少樣品的損傷;
    ?鍍碳系統(tǒng)配備80w直流開關電源和碳蒸發(fā)大電流電源,也可用于科研及不同薄膜的應用研究中。
    ?鍍碳系統(tǒng)可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少
    ?高真空型號配備渦輪分子泵90 l/s Leybold
    ?使用二級旋片式真空泵作為分子泵前級泵
    ?配有全量程真空計
    ?可選用高精度石英晶體厚度監(jiān)測器,測厚精度可達1nm。
    ?觸摸屏直觀地控制涂布過程,數據輸入簡單快速
    ?可通過網絡更新的用戶友好軟件
    ?可控涂層速率,可獲得更細的晶粒結構
    ?可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射,建設操作靈活簡便
    ?可記錄和繪制涂層參數圖
    ?配備電控快門
    ?樣品臺更換簡單:標準樣品架,高度可調可選轉;也可選用適合多孔樣品的行星式旋轉樣品架


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