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VTC-16-D 小型三靶等離子濺射儀

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更新時(shí)間：2022-11-09 16:10:24瀏覽次數(shù)：268次

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實(shí)驗(yàn)設(shè)備（按工藝分）

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混料制漿設(shè)備

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VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀，其靶頭尺寸為2英寸，并且樣品臺(tái)的高度可以調(diào)節(jié)

詳細(xì)介紹

VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀，其靶頭尺寸為2英寸，并且樣品臺(tái)的高度可以調(diào)節(jié)。此款鍍膜儀設(shè)計(jì)主要是制作一些金屬薄膜。

性能指標(biāo)和基本配置
特點(diǎn)	● 特別為SEM樣品鍍導(dǎo)電性薄膜設(shè)計(jì) ● 體積小巧，操作簡(jiǎn)單，容易上手。 ● 擁有小型磁控靶頭，可以鍍金銀鉑等金屬。
主要參數(shù)	● 輸入電源：220V AC 50/60Hz ● 功率：200W ● 輸出電壓：500 VDC ● 濺射電流：0-50 mA可調(diào) ● 濺射時(shí)間：0-120S可調(diào)
濺射腔體	● 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H ● 密封：采用不銹鋼平法蘭的O形密封圈
濺射頭&樣品臺(tái)	● 濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸，厚度0.1 - 2.5mm ● 濺射時(shí)間1-120S可調(diào) ● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺(tái)，其與濺射頭之間距離可調(diào)。 ● 可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)，其加熱溫度為500℃ ● 安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板，可進(jìn)行預(yù)濺射。
真空系統(tǒng)	● 安裝有KF25真空接口 ● 數(shù)字真空壓力表（Pa） ● 此系統(tǒng)可通入氣體運(yùn)行 ● < 1.0E-2 Torr （采用機(jī)械泵）（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊） ● < 1.0E-5 Torr（采用渦旋分子泵）（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊） ● 可在本公司選購(gòu)各種真空泵
進(jìn)氣	● 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口，方便連接氣瓶 ● 設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕，方便調(diào)節(jié)氣流
靶材	● 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度) ● 此設(shè)備標(biāo)配為銅靶 ● 可在本公司選購(gòu)各種靶材
各種靶材的參數(shù)（僅供參考）	對(duì)于濺射各種金屬靶材，需要摸索的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)，歡迎您帶料來(lái)科晶實(shí)驗(yàn)室摸索工藝（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
	靶材種類(lèi)	真空度（Pa）	濺射電流（mA）	時(shí)間（s）	濺射次數(shù)
	Au	31-33	28-30	100	1
	Ag	31	28	100	1
薄膜測(cè)厚儀（可選）	可在本公司選購(gòu)薄膜測(cè)厚儀安裝在濺射儀上
產(chǎn)品尺寸	L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
凈重	20 kg（不包括泵）
使用注意事項(xiàng)	● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 ● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈 ● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面 ● 超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：（1）丙酮超聲，（2）異丙醇超聲-去除油脂，（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分。 ● 等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物。 ● 制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。 ● 請(qǐng)使用>5N純度氬氣等離子體濺射 ● 濺射鍍膜機(jī)可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射 ● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請(qǐng)考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī)或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié) 超聲波清洗機(jī) 等離子清洗機(jī) 大功率磁控濺射儀蒸鍍儀
警告	● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體。 ● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。 ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶頭。
認(rèn)證	CE認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。