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GSL-1100X-SPC-16M 小型磁控等離子濺射儀

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2022-11-16 15:37:14瀏覽次數(shù):223次

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經營模式:其他

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所在地區(qū):

聯(lián)系人:潘海菁

產品簡介

GSL-1100X-SPC-16M是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀,采用雙旋片機械泵進行抽真空

詳細介紹

GSL-1100X-SPC-16M 是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀,采用雙旋片機械泵進行抽真空。 一個磁控管與Peltier 冷卻裝置安裝在機器的頂部,,這將提供強有力的濺射能源,產生更好和更快的涂層,特別適用于金屬靶材,比如鋁,鋅和鎂. 儀器中包含一個金靶和真空系統(tǒng)。

技術參數(shù)

工作電壓

110V or 220V 50/60 Hz

輸出功率

< 2000W (包含真空泵)

輸出電壓

  • 1600VDC
  • 電流:50mA

樣品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

樣品載物臺

  • 一個外徑50 mm 樣品載物臺
  • 濺射面積: 45 mm




配件包括

  • 儀器中包含有一直聯(lián)式雙旋機械泵,可使反應腔體真空度達到10-2 torr
  • 用一個KF25的波紋管把真空泵和儀器相連接
  • 可以選購一個循環(huán)水冷機16L/min

可通入氣體

通過針閥通入氬氣,能實現(xiàn)更好的等離子涂層

靶材

  • 標配靶材:
  • 包含:Au target: 50 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • 可選靶材: Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N)
    Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N)

外形尺寸

L360mm x W300mm x H380mm

重量

50 kg

質保期和質量認證

一年質保期,終身維護

CE Certified

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