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行業(yè)產(chǎn)品

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天津市科器高新技術(shù)有限公司


VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

聯(lián)系方式:路琦 張瑞 劉俊君查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-02-23 15:28:17瀏覽次數(shù):440次

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產(chǎn)品簡介

VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀,基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式

詳細(xì)介紹

VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀,基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材 和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,鋁,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

技術(shù)參數(shù)

輸入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

輸出功率

  • 1600VDC
  • 電流50mA

樣品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺

  • 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置
  • 基片可以放在樣品臺上. 加熱溫度 500°C
  • PID控溫方式和觸摸屏面板,控溫精度+/-1°C

控制面板

  • 控制面板為PLC,6" 觸摸屏
  • 一個控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置 基片加熱溫度

可選

  • KF25 真空接口、卡箍,和600mm長不銹鋼波紋管
  • 120L/M旋片式真空泵(包含在儀器內(nèi))
  • Vapor trap eliminates the oil mist
  • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
  • 高純度金箔靶
  • 需要一個帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 (這個我們不提供)

進氣口

一個針閥安裝進氣口,以實現(xiàn)更好的等離子涂層



靶材

標(biāo)配靶材分別有

  • 金,銀,銅 靶材:
  • 尺寸: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • 可選靶材點擊鏈接、
    Pt , Ag target , Zinc tarhet

外形尺寸

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 凈重:50KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,終身維護。

質(zhì)量認(rèn)證

Certified

關(guān)鍵詞:真空泵 旋片式真空泵
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