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似空科學(xué)儀器(上海)有限公司


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發(fā)射掃描電子顯微鏡ReguluS

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更新時(shí)間:2023-08-11 19:04:12瀏覽次數(shù):187次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

發(fā)射掃描電子顯微鏡ReguluS

詳細(xì)介紹

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,觀察性能與現(xiàn)有機(jī)型相比提高了20%左右。

此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過(guò)此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。

*1
Regulus8240/8230/8220


特色
 
  • 沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
  • 與現(xiàn)有機(jī)型相比分辨率提高了20%左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
  • 采用污染小、高真空樣品倉(cāng)
  • 運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配),可觀察到多種成分對(duì)比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察


樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V

超高分辨觀察


樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析


樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV

 
 
*2
Regulus8240/8230/8220

規(guī)格
項(xiàng)目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
二次電子分辨率 0.8 nm
(加速電壓15 kV)
1.1 nm
(著陸電壓1 kV)*3
0.7 nm(加速電壓 15 kV)
0.9 nm(著陸電壓 1 kV)*3
著陸電壓 0.1~2 kV 0.01~20 kV
放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
樣品臺(tái) 樣品臺(tái)控制 3軸馬達(dá)臺(tái)(可選5軸馬達(dá)臺(tái)) 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
移動(dòng)范圍 X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
再現(xiàn)性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
 
*3
減速模式下觀察
*4
以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率

 



 

關(guān)鍵詞:催化劑
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