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北京格微儀器有限公司


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GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀

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更新時間:2022-11-05 14:53:41瀏覽次數(shù):289次

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聯(lián)系人:范經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

描述全自動知識產(chǎn)品沒有熱損傷

詳細(xì)介紹

描述

全自動知識產(chǎn)品

沒有熱損傷,效率更高,顆粒度更細(xì),更適合高分辨電鏡

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 高分辨掃描電鏡樣品制備(實(shí)際放大倍數(shù)≥100K)
  • 電極制備-可制備各種金屬電極、ITO電極

設(shè)備配置與技術(shù)參數(shù)

名稱&型號 高真空磁控離子濺射儀GVC-2000T
真空系統(tǒng) 渦輪分子泵(進(jìn)口 ):德國萊寶90i (單磁懸浮分子泵,抽速為90L/s)
旋片式真空泵:浙江飛越VRD-4 (抽速為 1 .1L/s)
真空測量 全量程復(fù)合真空規(guī)(進(jìn)口):1.0E5Pa-1E-4Pa
系統(tǒng)極限真空 ≤5E-3Pa
濺射電源 磁控濺射電源,功率150W
可用靶材 所有金屬靶材,ITO靶材
濺射電壓 300-600V,根據(jù)選擇靶材、控制參數(shù)不同而變化
濺射電流 0-200mA連續(xù)可調(diào),步長5mA
濺射時間 0-9999s, 連續(xù)可調(diào)步長1s
操作界面 7英寸TFT彩色液晶觸摸屏,分辨率800×480
操作方式 一鍵操作
抽氣節(jié)拍 <15分鐘
控制方式 只需設(shè)定濺射電流和時間即可,全自動控制
具備預(yù)濺射擋板(預(yù)濺射時間可設(shè)定),全自動控制
保護(hù)功能 軟硬件互鎖、防止誤操作,具備電流、真空保護(hù)等
樣品臺直徑 φ125mm,可自轉(zhuǎn),可自動手動控制,轉(zhuǎn)速4-40rpm可調(diào)
真空室 高硅硼玻璃,規(guī)格尺寸約φ200×130mm
電源供電 220V 50Hz 功率800W
尺寸&重量 重量 424(長) ×345(深) ×420mm(高)、 25 kg (凈重)
冷卻方式 內(nèi)部風(fēng)冷
選配 樣品臺選擇、膜厚控制、溫度監(jiān)測等

鍍膜樣品示例:

     銀.jpg   鎢.jpg   鉻.jpg

             靶材-銀                           靶材-鎢                           靶材-鉻

     鎳.jpg   釩.jpg   錫.jpg

              靶材-鎳                         靶材-釩                           靶材-錫        

     銅.jpg    鉭.jpg   鐵.jpg 

             靶材-銅                              靶材-鉭                        靶材-貼 

     鈦.jpg     鉛.jpg    鉬.jpg

               靶材-鈦                         靶材-鉛                            靶材-鉬

     鋁.jpg      鉑.jpg    金.jpg

            靶材-鋁                               靶材-鉑                               靶材-金

     鋯.jpg       鉺.jpg    ITO.jpg

              靶材-鋯                               靶材-鉺                        靶材-ITO

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