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MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時間:2022-10-26 18:01:29瀏覽次數(shù):219次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品概述

詳細(xì)介紹

MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器,為工業(yè)和科學(xué)研究領(lǐng)域長期可靠工作而設(shè)計。利用熱擴散原理及PID控制原理,測量和控制小管道的氣體質(zhì)量流量輸出,不需要溫度和壓力補償。以性能可靠、安裝方便和價格合理得以大量應(yīng)用。

產(chǎn)品特點

☆用于多種氣體質(zhì)量流量控制,如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4

☆測量范圍:從0-5sccm 0-1500slm

☆精度:1.0%F.S.

☆量程比:最小100:1

☆重復(fù)性:0.25%

☆響應(yīng)時間:1.0S

☆過程溫度:0-50

☆過程壓力:0-8MPa

☆供電:24VDC

☆輸出:0-5V,4-20mA,RS232

☆管道材質(zhì):316L

☆連接標(biāo)準(zhǔn):1/4英寸,3/8英寸,1/2英寸,3/4英寸

產(chǎn)品應(yīng)用

l  實驗室,泄漏檢測

l  醫(yī)學(xué),氣體合成

l  科學(xué)研究,過程控制

l  制藥,半導(dǎo)體工業(yè)

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