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MFC800系列氣體質量流量控制器

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更新時間:2022-10-26 18:01:29瀏覽次數(shù):220次

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產品簡介

產品概述

詳細介紹

MFC800系列氣體質量流量控制器

產品概述

MFC800系列氣體質量流量控制器,為工業(yè)和科學研究領域長期可靠工作而設計。利用熱擴散原理及PID控制原理,測量和控制小管道的氣體質量流量輸出,不需要溫度和壓力補償。以性能可靠、安裝方便和價格合理得以大量應用。

產品特點

☆用于多種氣體質量流量控制,如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4

☆測量范圍:從0-5sccm 0-1500slm

☆精度:1.0%F.S.

☆量程比:最小100:1

☆重復性:0.25%

☆響應時間:1.0S

☆過程溫度:0-50

☆過程壓力:0-8MPa

☆供電:24VDC

☆輸出:0-5V,4-20mA,RS232

☆管道材質:316L

☆連接標準:1/4英寸,3/8英寸,1/2英寸,3/4英寸

產品應用

l  實驗室,泄漏檢測

l  醫(yī)學,氣體合成

l  科學研究,過程控制

l  制藥,半導體工業(yè)

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