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P-170臺(tái)階儀(探針式輪廓儀)

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更新時(shí)間:2023-01-05 11:48:37瀏覽次數(shù):834次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品描述P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業(yè)的P-17臺(tái)式系統(tǒng)的測(cè)量性能和經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業(yè)的P-17臺(tái)式系統(tǒng)的測(cè)量性能和經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)提供了極低的擁有成本,適用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。P-170可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái),因而具備出色的測(cè)量穩(wěn)定性。通過(guò)點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測(cè)量。并通過(guò)圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。

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主要功能

·        臺(tái)階高度:幾納米至1000μm

·        微力恒力控制0.0350mg

·        樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接

·        視頻500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)

·        圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

·        軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面

·        生產(chǎn)能力:通過(guò)測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化

·        晶圓機(jī)械傳送臂:自動(dòng)加載75mm200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍(lán)寶石)樣品


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主要應(yīng)用

·        臺(tái)階高度:2D3D臺(tái)階高度

·        紋理:2D3D粗糙度和波紋度

·        形狀:2D3D翹曲和形狀

·        應(yīng)力:2D3D薄膜應(yīng)力

·        缺陷復(fù)檢:2D3D缺陷表面形貌


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工業(yè)應(yīng)用

·        半導(dǎo)體

·        化合物半導(dǎo)體

·        LED發(fā)光二極管

·        MEMS微機(jī)電系統(tǒng)

·        數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

·        汽車(chē)

·        更多信息,請(qǐng)與我們聯(lián)系以滿足您的要求

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關(guān)鍵詞:輪廓儀 傳感器
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