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深圳市利方達(dá)科技有限公司
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深圳市利方達(dá)科技有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)7700 7800
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
聯(lián)系方式：田經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2023-02-23 17:23:58瀏覽次數(shù)：214次
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美國(guó)AE公司 質(zhì)量流量計(jì)（FC-7700系列）
優(yōu)點(diǎn)：高性價(jià)比
響應(yīng)速度快：小于2秒
的可靠性：使用一年以上，零點(diǎn)漂移小于滿量程的0.5%
易于集成：標(biāo)準(zhǔn)接頭和尺寸
出眾的效果：高品質(zhì)膜層與蝕刻特性
特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許清洗流量：高達(dá)校準(zhǔn)值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
型號(hào)參數(shù)：
| 類別 | FC-7700、7700C、7700CD、7700CU | FC-7710、7710C、7710CD、7710CU | FC-7720、7720C、7720CD |
| 滿量程范圍 | 10sccm到5slm | 6到20slm | 35到150slm |
| 20到50slm | |||
| 響應(yīng)時(shí)間 | 到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2秒 | 到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3秒 | |
| 精度 | 滿量程±1%范圍內(nèi) | 滿量程±2%范圍內(nèi) | |
| 線性度 | 滿量程±0.5%范圍內(nèi) | 滿量程±0.5%范圍內(nèi) | 滿量程±1%范圍內(nèi) |
| 滿量程±1%范圍內(nèi) | |||
| 重復(fù)精度 | 滿量程±0.2%范圍內(nèi) | ||
| 漏率 | 值1×10-6 atm-cc/秒(氦) | ||
| 控制范圍 | 滿量程的5到99% | ||
| 壓差 | 7至40 psi | 10至40 psi(517至2069托) | 21至40 psi(1086至2069托) |
| (362至2069托) | 14至40 psi(724至2069托) | ||
| 正常工作壓力 | 50 psi(2586托) | ||
| 入口壓力 | 值150 psi(7740托) | ||
| 溫度范圍 | 5至45℃ | ||
注：可根據(jù)不同客戶的需求，選擇全金屬密封的FC-7800CD系列，數(shù)字型的FC-D770系列，全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。
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