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YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)PR500/510

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)PR500/510 PR500 / 510是廣泛用于這種應(yīng)用,生產(chǎn)半導(dǎo)體和分析工作的氣體等離子體裝置。它擁有出色的可操作性和安全性,具有自動(dòng)調(diào)諧系統(tǒng)作為標(biāo)準(zhǔn)組件及其他功

詳細(xì)介紹



YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)PR500/510
PR500 / 510是廣泛用于這種應(yīng)用,生產(chǎn)半導(dǎo)體和分析工作的氣體等離子體裝置。它擁有出色的可操作性和安全性,具有自動(dòng)調(diào)諧系統(tǒng)作為標(biāo)準(zhǔn)組件及其他功能。
YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)PR500/510
YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)特點(diǎn):
• 它具有一個(gè)緊湊的設(shè)計(jì),具有小尺寸的高頻發(fā)生器和一個(gè)振蕩部分集成在一起的腔室的一部分。
• 隨著直徑215毫米大口徑室,單位可以處理大的測(cè)試樣品。

YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)產(chǎn)品規(guī)格:

產(chǎn)品規(guī)格
模型 PR500 PR510
桶型直等離子
控制部分
高頻輸出 max 500W
振蕩頻率 13.56 MHz
輸出阻抗 50Ω
調(diào)整方法 自動(dòng)調(diào)諧
儀器 輸出功率表(0?600W)
反射波功率表(0?300W)
真空壓力表,熱電偶式
流量計(jì),針型閥集成型,2臺(tái)
定時(shí)器 0.1秒。到999H
進(jìn)氣口 1/4“不銹鋼,2入口
電源(50 / 60Hz) AC 100 / 220V,單相,2千伏安
反應(yīng)部分
反應(yīng)室 石英制成的,φ215×305毫米
電極結(jié)構(gòu) 聚光型,四分割
控制系統(tǒng) 自動(dòng)減壓,自動(dòng)閥泄漏 觸摸屏與PLC控制
配管材料 SUS,鐵弗龍
外形尺寸(W×D×嗯) 438×520×760 520×630×760
重量 約38千克 約60公斤
YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配件
連接電纜:1配套
真空潤(rùn)滑脂:1件
O形圈的反應(yīng)室:1件。
YAMATO氣體等離子體刻蝕機(jī)可選配件
幀的晶片,2,3,4,5,6英寸
多用途傾斜的框架
鋁蝕刻隧道,架

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