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科晶 GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

參考價(jià): ￥ 26000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間：2022-11-04 16:14:40瀏覽次數(shù)：171次

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上海新諾儀器集團(tuán)有限公司

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產(chǎn)品簡介

一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜。

詳細(xì)介紹

沈陽科晶 GSL-1100X-SPC-16型單靶等離子濺射儀

儀器概述：

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜。

主要技術(shù)特點(diǎn)：

1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得良好的鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

6、已通過CE認(rèn)證。

主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)	GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：不需要
技術(shù)參數(shù)	1、電源：220V 2、總功率：<2000W（包括真空泵） 3、真空室：?160mm×120mm 4、樣品臺(tái)：?50mm，且高度可調(diào)，可同時(shí)進(jìn)行8個(gè)SEM樣品的鍍膜 5、均勻鍍膜：?45mm
產(chǎn)品規(guī)格	1、尺寸：400mm×300mm×400mm 2、重量：30kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	金靶材	1個(gè)
	2	進(jìn)氣針閥	1個(gè)
	3	保險(xiǎn)絲	2個(gè)
可選配件	金、銦、銀、鉑等各種靶材