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更新時間:2022-09-27 14:28:16瀏覽次數(shù):173次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線日本HORIBA質(zhì)量流量控制器HORIBASTEC-E50
特征:
以魅力、價格實現(xiàn)從微小流量到大流量的控制;
高速響應(yīng),1秒內(nèi)達到流量設(shè)定值。搭載了設(shè)計的控制回路和高速應(yīng)對的流量感應(yīng)器,根據(jù)所接收到的電力信號,流量的初期安定性比較好,通過流量變化的實施程序使得能一直保持安定的流量進行測控。(大流量對應(yīng)型號:SEC-E80在2秒內(nèi)應(yīng)對)
高精度,±1.0%F.S
高信賴性,具備自動調(diào)零功能
可進行準確的質(zhì)量流量控制;所謂質(zhì)量流量控制器,是計測質(zhì)量流量,可根據(jù)所接收的電力信號,自動的進行任意流量的一種控制器。因此,即使使用環(huán)境(如溫度、壓力)發(fā)生變化變化,也不必進行修正,就能準確的進行質(zhì)量流量控制。
采用自動流量功能閥門;流量控制閥門由于是采用自動流量功能功能控制型,當本體電源無供給時,閥門將自動調(diào)整為關(guān)閉狀態(tài)。停電時也可以將流量控制在最小限度內(nèi)。
工作原理:
1、入口處進來的氣體被分流到流量感應(yīng)器和旁路處。
2、通過感應(yīng)器得到按質(zhì)量流量比例形成的溫度變化信息,在回路中交換成電力信號。
3、該信號通過增幅回路、修正回路、以0-5V的線性電力信號向外部輸出,另一方面又輸入至比較控制回路中。
4、外部得到的設(shè)定信號和從感應(yīng)器處得到的流量信號在比較回路中形成差異信號,再輸送至下一個的閥門驅(qū)動回路中。
5、流量控制閥門盡可能使該差異信號將為“0",使流量一直控制在設(shè)定流量。
SEC- (質(zhì)量流量控制器) | E50 | |
適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | |
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | |
閥門型號 | 非通電時 關(guān)閉 | |
標準流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 20/30 SLM | |
流量控制范圍 | 2-99% F.S. | |
流量測量范圍 | 0-99% F.S. | |
響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | |
流量精度 | ±1% F.S. | |
直線性 | ±0.5% F.S. | |
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. | |
工作差壓值值 | 10 SCCM-5 SLM:50-300kPa(d) 10?30 SLM:100-300kPa(d) | |
使用壓力 | 300kPa(G)以下 | |
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | |
外部泄漏率 | 1×10-8Pa/m3/s(He)以下 | |
使用環(huán)境溫度 | 5?50℃(精度的確保:15-35℃) | |
流量設(shè)定信號 | 0.1-5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2-99% F.S. | |
流量輸出信號 | 0-5VDC(最小負荷電阻2kΩ) | |
驅(qū)動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | +15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
標準接頭*2 | 1/4SWL 類型 |
技術(shù)規(guī)格
*1:關(guān)于記載以外的氣體種類,請另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:值300kPa(G);SEC-70/80:值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。
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