Brooks Instrument GF80 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表
GF80 系列 面議污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
上海晉普實業(yè)有限公司
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產(chǎn)品型號GF80 系列
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
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更新時間:2023-05-05 08:52:26瀏覽次數(shù):274次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線對于許多工業(yè)和半導(dǎo)體加工過程,性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個特點:設(shè)計采用與的 GF100 系列響應(yīng)速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術(shù),該產(chǎn)品是高性價比運營的正確選擇。另外,金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的全部優(yōu)勢。
長期零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
1 秒內(nèi)穩(wěn)定
滿量程流速高達 300 slpm
全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理
耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作,適用于易發(fā)生熱分解的氣體
可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
通過有源溫度補償實現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范
內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨立的診斷/維護端口
帶有 VCR 配件的細線體設(shè)計
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
1 秒完成流量穩(wěn)定,消除廢氣和過程變量影響
未采用會發(fā)生氧滲透并且使用一定時間之后需要進行更換的彈性體密封件
MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準 MFC
60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作
測量精度不受溫度變化影響
可輕松訪問診斷端口以實現(xiàn)運行時間
規(guī)格緊湊,可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi);設(shè)備改型的選擇
多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
對翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進行經(jīng)濟高效的改型/升級
減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫存
用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD
太陽能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)
分析用 OEM 設(shè)備
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