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CYG505、506微型壓力傳感器

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更新時間:2022-10-28 18:37:46瀏覽次數(shù):233次

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產(chǎn)品簡介

標(biāo)稱尺寸外徑5mm的微型表壓力傳感器CYG505及其衍生的螺紋安裝型品種CYG506是專為水流動力學(xué)研究??s模實驗要求的外形尺寸小,對流場擾動小,量程低、靈敏度高,動態(tài)頻響好而專門設(shè)計的微型低量程脈動壓力傳感器。

詳細(xì)介紹

標(biāo)稱尺寸外徑5mm的微型表壓力傳感器CYG505及其衍生的螺紋安裝型品種CYG506是專為水流動力學(xué)研究??s模實驗要求的外形尺寸小,對流場擾動小,量程低、靈敏度高,動態(tài)頻響好而專門設(shè)計的微型低量程脈動壓力傳感器。

CYG505的壓力敏感元件采用*的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技術(shù)設(shè)計與制造、三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。用CAD輔助的有限元分析基礎(chǔ)上的力學(xué)構(gòu)件設(shè)計、版圖布局設(shè)計、加上精密的各向異性腐蝕,解決了低量程下線性度和輸出靈敏度的矛盾。小至2mm徑向尺度的微型芯片,具有低達(dá)20kpa的量程和優(yōu)秀的線性度,滿足了水工縮模測量的精度與靈敏度要求。

CYG505采用了敏感元件背面承壓的工作模式,因此它可以用于導(dǎo)電性的水及其它液體介質(zhì)。有特殊腐蝕性或溶滲性的介質(zhì)訂貨時請與廠家協(xié)商。

為了防止使用安裝處偶然浸水造成表壓傳感器的失效,CYG505在尾端出線處采用了PVC導(dǎo)管作為通氣及防水保護(hù),微型電纜從PVC管中孔內(nèi)引出。由于工藝難度,PVC管的長度限制為7m。

CYG505為表壓模式,標(biāo)準(zhǔn)壓力量程為25、40、60、100、160、250、400、600、1000kpa。為方便水工用戶,也可以按mH2O為單位訂貨量程為2、3、5、10、20、50、100。

CYG505的設(shè)計及制作已獲得國家發(fā)明,并獲得2007年度中國國家發(fā)明優(yōu)秀獎,號為:ZL.8。

CYG505傳感器的低量程產(chǎn)品的固有頻率達(dá)138kHz,為激波管試驗驗證。它具有0~20kHz的使用帶寬,上升時間小于1us,滿足水工測量的動態(tài)要求。

CYG506微型螺栓安裝型傳感器是CYG505的衍生品種,它的外形尺寸見附圖。


1、性能指標(biāo)參數(shù)

指標(biāo)/檔級非線性精度
±%FS
遲滯重復(fù)性
%FS
零位溫度系數(shù)
×10-4FS /℃
靈敏度溫度系數(shù)
×10-4FS /℃
零位時漂
<mv/8h
JA0.50.1550.2
JB0.20.1220.1

2、滿量程輸出:  最小值20mv  典型值60mv   值100mv

3、輸入輸出阻抗:最小值3 kΩ  典型值5 kΩ  值7 kΩ

4、輸入工作電流:1.5mA(恒流源)

5、工作溫度范圍:-20℃~+80℃(可應(yīng)要求擴(kuò)寬)

6、補(bǔ)償溫度范圍:0℃~+50℃(可應(yīng)要求擴(kuò)寬)

7、過載能力:    額定量程的200%(至1.2Mpa)

8、加速度靈敏度:<0.002%FS/g

9、外形尺寸圖:

image.png
注:CYG505系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出微型電纜長度為5m,超過5m長度收費(fèi),但防水保護(hù)的PVC管最長只能套7m。

關(guān)鍵詞:壓力傳感器 傳感器 芯片
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