標(biāo)稱尺寸外徑5mm的微型表壓力傳感器CYG505及其衍生的螺紋安裝型品種CYG506是專為水流動(dòng)力學(xué)研究?？s模實(shí)驗(yàn)要求的外形尺寸小，對(duì)流場(chǎng)擾動(dòng)小，量程低、靈敏度高，動(dòng)態(tài)頻響好而專門設(shè)計(jì)的微型低量程脈動(dòng)壓力傳感器。

詳細(xì)介紹

CYG505的壓力敏感元件采用*的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造、三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。用CAD輔助的有限元分析基礎(chǔ)上的力學(xué)構(gòu)件設(shè)計(jì)、版圖布局設(shè)計(jì)、加上精密的各向異性腐蝕，解決了低量程下線性度和輸出靈敏度的矛盾。小至2mm徑向尺度的微型芯片，具有低達(dá)20kpa的量程和優(yōu)秀的線性度，滿足了水工縮模測(cè)量的精度與靈敏度要求。

CYG505采用了敏感元件背面承壓的工作模式，因此它可以用于導(dǎo)電性的水及其它液體介質(zhì)。有特殊腐蝕性或溶滲性的介質(zhì)訂貨時(shí)請(qǐng)與廠家協(xié)商。

為了防止使用安裝處偶然浸水造成表壓傳感器的失效，CYG505在尾端出線處采用了PVC導(dǎo)管作為通氣及防水保護(hù)，微型電纜從PVC管中孔內(nèi)引出。由于工藝難度，PVC管的長(zhǎng)度限制為7m。

CYG505為表壓模式，標(biāo)準(zhǔn)壓力量程為25、40、60、100、160、250、400、600、1000kpa。為方便水工用戶，也可以按mH2O為單位訂貨量程為2、3、5、10、20、50、100。

CYG505的設(shè)計(jì)及制作已獲得國(guó)家發(fā)明，并獲得2007年度中國(guó)國(guó)家發(fā)明優(yōu)秀獎(jiǎng)，號(hào)為：ZL.8。

CYG505傳感器的低量程產(chǎn)品的固有頻率達(dá)138kHz，為激波管試驗(yàn)驗(yàn)證。它具有0～20kHz的使用帶寬，上升時(shí)間小于1us，滿足水工測(cè)量的動(dòng)態(tài)要求。

CYG506微型螺栓安裝型傳感器是CYG505的衍生品種，它的外形尺寸見附圖。

1、性能指標(biāo)參數(shù)

指標(biāo)/檔級(jí)	非線性精度 ±%FS	遲滯重復(fù)性 %FS	零位溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	零位時(shí)漂＜mv/8h
JA	0.5	0.1	5	5	0.2
JB	0.2	0.1	2	2	0.1