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CYG502超微型壓力傳感器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實(shí)驗(yàn)中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計(jì)的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸最小的壓力傳感器。

詳細(xì)介紹

CYG502的壓力敏感元件采用*的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計(jì)、從而實(shí)現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的化，把整個(gè)芯片尺寸縮小到1×1mm大小，而輸出靈敏度仍可達(dá)到100kpa的量程，為超微型傳感器的實(shí)現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。

把傳統(tǒng)設(shè)計(jì)中的硅–玻璃鍵合改為硅–硅鍵合，改善了熱匹配效果，減少了應(yīng)力帶來的零位不穩(wěn)定性。

目前已面市品種有絕壓型測(cè)量模式產(chǎn)品，表壓型正在研制中。

CYG502A絕壓型超微型壓力傳感器為探針形，標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф2.15mm，長(zhǎng)度為18mm，傳感器的可選量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。

CYG502A絕壓傳感器用敏感元件正面承壓。因此，它僅適用于介質(zhì)為無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有著相當(dāng)寬的工作溫區(qū)，可達(dá)-55℃～+120℃，也有著非常優(yōu)秀的高頻動(dòng)態(tài)特性，其量程的敏感元件的固有頻率＞200kHz，上升時(shí)間為亞微秒。

1、性能指標(biāo)參數(shù)

指標(biāo)/檔級(jí)	非線性精度 ±%FS	遲滯重復(fù)性 %FS	零位溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	零位時(shí)漂＜mv/8h
JA	0.5	0.1	5	5	0.2
JB	0.2	0.1	2	2	0.1