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河南熱處理設(shè)備有限公司


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CVD浮子混氣系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號S-1700S-CVD

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2022-02-12 10:09:40瀏覽次數(shù):402次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:52條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

CVD浮子混氣系統(tǒng)適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用

詳細(xì)介紹

功能特點(diǎn):
1、高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成,真空可達(dá)0.0001Pa;
2、可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制;
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,流量顯示儀等組成,實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。
4、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;管路采用世界Swagelok卡套連接,不漏氣;
5、超溫、過壓時,自動切斷加熱電源及流量計進(jìn)氣,使用安全可靠。
產(chǎn)品用途:
適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用
產(chǎn)品參數(shù)

  • 電壓:AC220V 50/60Hz
  • 功率:6KW
  • 爐管:采用99氧化鋁剛玉管,致密度高,經(jīng)久耐用,不易斷裂
  • 爐管尺寸:Φ40/60/80*/1000mm(可定制)
  • 爐管配件:4個氧化鋁管堵
  • 加熱元件:6根U型硅鉬棒
  • 加熱區(qū)長度:400mm(可定制)
  • 恒溫區(qū)長度:200mm(可定制)
  • 工作溫度:≤1600℃
  • 溫度:1650℃
  • 升溫速率:≤10℃/min
  • 溫控系統(tǒng):溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能、50段升降溫程序
  • 測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶
  • 恒溫精度:±1℃
  • 流量規(guī)格:0.3~3L/min
  • 控制精度:±5%
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶
  • 尺寸:高溫爐:660*580*910mm、混氣移動工作臺:800*540*720mm
  • 可選配件:HQZ混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉坩堝,剛玉管,計算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環(huán)機(jī)等。


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